一、 项目概况及预算:
场发射透射电子显微镜采购项目 1190万元
二、技术指标要求:
序号 | 采购品目 | 技术参数及要求 | 数量 (单位) | 预算单价 (元) | 预算总价 (元) |
1 | 热场发射透射电镜(进口设备) | 具体见表后说明 | 1套 | ******* | ******* |
2 | 透射电镜样品前处理系统(进口设备)及环境改造 | 具体见表后说明 | 1套 | ******0 | ******0 |
技术参数及要求:
采购品目1:热场发射透射电镜(进口设备)
1.工作条件
1.1电力供应:220V(±10%),50Hz(±1%)。
1.2工作温度:15°C-25°C。
1.3工作湿度:<60%。
1.4仪器可连续使用。
1.5仪器具有较强的防震抗磁能力,工作稳定。
1.6仪器设备符合放射线防护安全标准和电器安全标准。
2.设备用途:用于对材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构分析,系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。
3.技术规格
3.1电子枪:热场场发射电子枪。
3.1.1亮度:≥4×108A/cm2/sr。
3.2束流和束斑
★3.2.1束流:≥2.5nA@1nm。
★3.2.2最大束流:≥100nA。
3.2.3束斑漂移:<1nm/min。
3.3 分辨率
★3.3.1点分辨率:≤0.23nm@200kv。
3.3.2线分辨率:≤0.10nm@200kv。
3.3.3信息分辨率:≤0.12nm@200kv。
3.4 最高加速电压:≥200kv。
★3.5 TEM模式下放大倍数范围:≥×25-2.0M,放大倍率重复性:<1.5%。
3.6电子衍射
3.6.1最大会聚角CBED范围:≥1.5-100mrad。
3.6.2最大衍射角:≥20°。
3.7相机长度:≥15-2000mm。
3.8样品台
3.8.1配备五轴以上马达驱动样品台。
3.8.2样品移动范围:X,Y:≥2mm,Z:≥0.4mm。
3.8.3最大双倾杆倾斜角:X:≥±35°,Y:≥±30°。
3.8.4最大测角台倾斜角:≥±90°。
★3.8.5 样品杆尖端直径:≥10mm 。
3.8.6配备单倾/BE双倾样品杆各一根。
★3.8.7配备自动进样系统。
3.9全自动光阑系统,通过计算机直接控制。
3.10扫描透射(STEM)
3.10.1 STEM HAADF分辨率:≤0.16nm@200kv。
3.10.2配备STEM模式下HAADF探测器一个,BF探测器一个,BEI背散射探测器,可得到高分辨明场BF像,暗场DF像和高角环形暗场HAADF像,同时利用BEI探测器可以对样品进行二次电子/背散射立体成像。
3.10.3 HRTEM、HRSTEM模式通过软件点击切换。
3.10.4 STEM放大倍率范围:≥×290-150M。
★3.10.5配备BEI背散射探测器。
★3.10.5.1 BEI背散射电子分辨率:≤1.0nm@200kv。
★3.10.5.2 BEI背散射模式放大倍率范围:≥×100–150M。
3.11能谱仪
★3.11.1电制冷无窗型探测器,配置可伸缩大面积双能谱。
★3.11.2总有效探测器面积:≥200mm2。
★3.11.3能量分辨率:≤133eV。
3.11.4元素分析范围:B-U。
★3.11.5 EDS立体角:≥1.7srad。
3.11.6峰背比:≥4000:1。
3.12 高速CMOS相机系统
3.12.1安装位置:底部安装。
★3.12.2 CMOS相机最大像素:≥5120×3330像素,与透射电镜主体同品牌。
3.12.3像素尺寸:≤14μm×14μm。
★3.12.4读取速度不限。写入速度:≥55fps,除硬盘容量外不存在其它限制记录长度的因素。
3.12.5软件功能包括但不限于:常用图像(分析几何形状测量,强度测量,图像数学运算,数据格式转换,文字标注);可变尺寸实时傅式变换;电子衍射分析;图像实时自动漂移矫正;视频处理(编辑,漂移矫正,颗粒追踪);视频回放(写入硬盘前追溯时间起点,丢弃无用数据)。
3.12.6具有大的动态范围,≥16bit,快速直接拍摄衍射花样和低剂量图像。
3.12.7自动漂移校正。
3.13三级真空系统,可自动进行镜筒烘烤。
3.13.1换样时间:≤2min。
3.13.2电子枪真空度:≤10-8Pa。
3.13.3样品室真空度:≤2×10-5Pa。
3.14 软件操作
★3.14.1 配备双模式操作,可以利用样品室相机直接在计算机上对电镜进行远程操作,不需要暗室。同时配有荧光屏,可以在荧光屏上肉眼直接观察寻找样品定位。
3.14.2具有演示视频和操作说明,在学习后很容易完成学会电镜的操作。
3.14.3具有专用的用户图形界面和操作键盘。可以通过鼠标、键盘、以及专用的操作键盘完成电镜的所有操作。可以实现包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换及探测器切换、聚焦、合轴操作等。
3.14.4 可以实现BEI、BF、STEM-HAAFD的一次同时采集和记录,方便对比观察。
3.14.5 具有实时显示的电镜状态图,实时显示电子束的状态,光阑的进出情况,并可以通过鼠标直接切换光阑,完成光阑的对中。
4.系统附属配件与支持
4.1电镜控制用计算机系统及控制软件:100%数字化操作系统,所有图像在显示器上显示,可对电镜进行远程操作,主机配备满足所有控制和软件所需。
5.原位加热样品杆
5.1 芯片电极数:4电极,使用4电极加热排除导线和接触电阻的影响。
★5.2 温度范围:≥室温到1300℃。
5.3. 温度稳定性:加热到1300℃时,只有≤0.005℃的温度变化。
5.4. 样品最小漂移率:≤0.5nm/min(稳定的高温条件下)。
5.5. 温度精确度:≥95%。
5.6. 温度均匀度:≥99.5%。
6.主动式消磁器
6.1 磁场探头:三轴探头。
6.2 磁场衰减率:≤40dB。
6.3 数字显示:显示DC或AC数值。
★6.4 安装位置:实验室墙壁内嵌式,不接受与电镜一体化设计。
6.5 提供产品样本,具备设备外观图的说明文件。
7. 主动式减震器:减震位置更靠近样品位置,并可与电镜一体化安装,可消除低频及高频振动对设备图像的干扰,保证图像分辨率,承重需大于2000kg。
8.免费更换一次电子枪(包含一个电子枪和一次上门费用)。
9.厂家免费负责仪器的安装、调试,验收合格。
10.保修期及维修
10.1安装验收合格后,厂家提供整机一年的免费保修,透射电镜电子枪三年的免费保修,保修期内厂家负担因质量问题造成的所有费用。
10.2 设备安装后透射电镜厂家工程师在指定实验室进行一次免费技术培训,时间不少于3天,我方参加人数不限。同时设备验收后,我方3人免费参加一次厂家应用培训班,时间不少于3天,具体时间由双方协商,同时设备在硬件允许情况下,软件终身免费升级。
采购品目2:透射电镜用样品前处理系统(进口设备)和环境改造
1.冷冻超薄切片机
★1.1动力切片,高稳定性,切割平滑有力,可适用于大体积、硬质样品。
★1.2总推进量程:≥200μm。
★1.3切片厚度:≥0nm-15μm,连续可调,步进精度≤1nm。
1.4切片速度:≥0.1-100mm/sec, 连续可调,增量为≤0.1nm。
1.5进刀步程:≥1nm-15μm,连续可调。
1.6回刀速度:≥0-100mm/sec,可调节。
1.7切割窗口:≥0-15mm,可调节。
1.8高精度千分尺刀座:刀台360°旋转,刀间隙角调节范围≥-2°-15°,马达驱动刀台步进:≥12mm的N-S移动,马达驱动刀台步进:≥25mm的E-W移动,可安装最大≥12mm宽的玻璃刀或钻石刀。
1.9配备通用样品夹,配7mm扁平样品夹,配5.6mm扁平样品夹。
★1.10钻石刀:低温钻石刀1把,宽度3mm,角度45°;常温钻石刀1把。
1.11控制系统:双控制器联动,内置诊断系统:数字按键控制器;≥21.5英寸触摸屏PC控制器:最新Windows系统,LCD显示屏,2.8GHz处理器或优于,4GB RAM或优于,≥6个USB端口,插槽加载DVD驱动系统,1TB硬盘驱动系统或优于,≥9个记忆存储通道,无线键盘和鼠标。实时显示总进刀量、切片厚度、切片速度和剩余进刀量。内置报表生成器和数据库。预编程Skype技术支持联系信息。
1.12观察用体视显微镜:人体工程学体式显微镜带有独特的横向观察控制,放大倍数≥6.3-50倍,变倍比≥8:1,连续可调。
1.13照明系统:顶部照明,背光照明,透射光照明,顶部高亮度LED漫射照明。
1.14升级接口:留有升级专用接口,同系列仪器各型号之间能进行本地逐步升级,可升级1mm大样品臂行程、连续收片系统、冷冻超薄切片等。
1.15双手托:内置双手托部件。
1.16双脚踏开关:配有双脚踏开关,控制切片/修块功能。
★1.17修块功能:具备修块功能,方便切片时对样品体积及形状的修正,以达到最好的切片效果,1把钻石快修刀。
2.冷冻传输装置
2.1 温度设定:样品、切削刀的温度分别设定。
2.2 温度显示:样品、切削刀的实时温度分别显示。
2.3 冷冻腔室外壁有防止过冷和结霜的加热功能。
2.4 冷冻腔室内有 LED 照明。
2.5 专用液氮泵。
2.6 液氮杜瓦瓶容量≥12升,杜瓦瓶内液氮量低时,有警报功能;
2.7 冷冻附件可快速拆装,实现常温和冷冻超薄切片的切换。
3.制刀机
3.1制刀机采用平衡断裂法,在断裂过程中,在玻璃条两侧的断裂触点始终保持对称、相等的压力。至少有三种规格玻璃条可供选择:6mm、8mm、10mm。
3.2制刀机可重复制作高品质玻璃刀,取出制作好的玻璃刀的过程安全方便,不需要借助其他工具,压力旋钮和切割滚轮可自动复位。
★3.3玻璃条由精密测微计控制。断裂压力或载荷是通过数字控制的,调整夹紧手柄和断臂时,反馈显示在数字读数上,配备两个高精度千分尺。
4.透射电镜配套安装环境改造交钥匙工程
4.1主机室交变杂散磁场:距地面1.5m镜筒位置处磁场强度<0.1uT。
4.2 主机室安装主动式消磁设备:对从0Hz到1000Hz的磁场干扰持续补偿,主动带宽需要≥0Hz-1000Hz;可以对交流电缆产生的交流磁场补偿,同时可以对地铁、汽车引起的直流磁场进行补偿;消磁线圈应该预埋在墙体内,不得干扰电镜应用,线圈场地需要根据房间大小现场定制。
4.3 主机室噪音要求:<60dB(C)。
4.4 主机室气压变化:<300Pa。
4.5 室内四周墙壁及屋顶内饰材料:墙壁表面需采用多孔金属消音板,并内置复合吸音降噪材料衬底,厚度≥2.5mm,房间改造全部采用无油漆涂料。
4.6 地面全部采用静音无尘地毯,厚度≥4mm。
4.7 操作室,主机室及附属设备间需配备独立空调系统,同时要求主机间温度稳定度:≤±1.0℃/hr。
4.8 主机独立地线系统:≤5欧姆。
4.9 整个工程为交钥匙工程,须同时满足新设备和原有日立S-4800扫描电镜的使用。
5.厂家免费负责仪器的安装、调试,验收合格。
6.保修期及维修
6.1安装验收合格后,厂家提供整机一年的免费保修,保修期内厂家负担因质量问题造成的所有费用。
6.2 设备安装后厂家工程师在指定实验室进行一次免费技术培训,时间不少于3天,我方参加人数不限,具体时间由双方协商。
3.本项目的特定资格要求:3.1供应商须在中国境内注册,有能力提供本次采购项目所要求的全部货物及相关服务。 3.2投标人须提供进口产品的授权书(逐级授权必须清楚) 3.3截至报名结束前,经“信用中国”、“中国政府采购网”政府采购 严重违法失信行为信息记录,被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府 采购严重违法失信行为记录名单的不得参加本采购项目。
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