低应力低压化学气相淀积系统招标公告
低应力低压化学气相淀积系统招标公告
中招国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-05-15在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中招国际招标有限公司受业主委托对下列产品及服务进行国际公开招标:高密度等离子化学气相沉积系统,低应力低压化学气相淀积系统,离子注入机,卧式氧化扩散炉
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0618-154TC150256B/02
招标项目名称:0618-154TC150256B-2低应力低压化学气相淀积系统
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高密度等离子化学气相沉积系统 | 1台 | *2.2.1片间、片内均匀性:<2% (3σ,3mmE); | 1包 |
2 | 低应力低压化学气相淀积系统 | 1套 | *2.1.1.1基片材质和尺寸:6英寸硅片; | 2包 |
3 | 离子注入机 | 1台 | *2.1加工硅片尺寸:6英寸; | 3包 |
4 | 卧式氧化扩散炉 | 1台 | *1.2氧化层厚度可控范围:150~4000?。 | 4包 |
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