公告日期： 2015-5-19~2015-5-28

项目名称：机械学院硅片研磨减薄机

招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室

西安交通大学根据国家政府采购法律法规和学校管理要求, 拟以招标方式采购下列货物。

一、 招标采购项目内容及数量：硅片研磨减薄机（1台）

1、设备需求，功能概述

1.1 货物名称数量：减薄抛光系统 1套

1.2功能概述：

系统主要用于硅、砷化镓等（Si、GaAs）晶片的机械研磨、以及平坦化机械化学抛光。要求设备设计科学、性能先进、自动化程度高、操作方便、可靠性和维护性强，机械研磨、机械化学抛光及检测前后工序衔接合理，各设备加工衬底尺寸统一。

1.3 系统基本组成：

2、技术指标要求

磨抛材料的直径：4英寸及以下尺寸；

减减薄后样品总厚度偏差（TTV）：小于± 3 μm @ 4英寸；小于±2 μm @ 3英寸；小于±1 μm @ 2英寸及以下尺寸；

具体工艺指标要求：

2.1系统适宜于加工Si、GaAs及相似材料晶片，加工的常规尺寸为Ф100mm及以下，厚度为0.3~1.5mm，各类形状；适用的加工工艺具有较高的可操作性和经济性；

2.2机械研磨后Ф50mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±1um以内；Ф75mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±2um以内；Ф100mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±3um以内；

2.3机械化学抛光后Ф50mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±1um以内；Ф75mm晶片总厚度偏差（TTV）在±2um以内；Ф100mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±3um以内；

2.4机械研磨后Ф50～100mm晶片的表面粗糙度好于（Ra）300nm；

2.5机械化学抛光后Ф50～100mm晶片的表面粗糙度GaAs（Ra）为≤10nm；Si Ra≤2nm

3、设备配置和要求

3.1成套设备配置要求：

3.1.1 机械研磨机包括：主机1台，配置Ф300mm刻槽玻璃磨盘及铸铁磨盘各1个；四寸夹具1个；

3.1.2 机械化学抛光机包括：防腐型主机1台，Ф300mm 通用型贴抛光布用化学抛光盘1个，Ф300mm 防腐蚀型贴抛光布用化学抛光盘1个；刻槽聚氨酯抛光盘1个；硅用抛光液方形料筒1个；四寸防腐型夹具各1个；

3.1.4自动粘片机包括：主机1台。

3.1.5 非接触式测厚仪一台

3.2 研磨抛光设备主要指标要求

3.2.1 机械研磨机和机械化学抛光机主机均采用数字化面板控制；所有参数在一个监视器界面操作，包括定时功能，偏心校正摆幅设定，盘转速调整等，程序控制连续工作时间范围不小于0~10小时；所有主机工位都具有摆动功能，摆动幅度可调节，摆臂可由程序设定摆动或不摆动；研磨盘或抛光盘转速可调，范围不小于5~70rpm；真空系统配备干真空泵以减少超净空间的污染；

3.2.2夹具配备晶片研磨厚度在线监测装置，监测精度≤2um，夹具对晶片的压力连续可调，压力范围100克-6公斤；

3.2.3 机械研磨机定时达到后设备停止运转；

3.2.4 机械化学抛光机定时达到后设备继续运转；

3.3 自动粘片机：

适合粘接100mm及以下晶片。

采用气囊式双腔体设计，气压加压。

要求全自动完成晶片室抽空，程序升温加热，气压加压粘结，冷却。

软件能够兼容国际通用的实验室管理软件，具有网络接口，带有远程诊断功能，自动生成所有参数图表及实验总结。

3.4 非接触式测厚仪：

带有标准大理石平台及国际标准厚度参考标准片。所以测量数据都是直接数字显示

测量探头的抬起可以采用手动抬起装置，轻按抬起按钮就可将探头抬起到一定高度，然后对样品各点进行测量。

控制部分有一个高纯过滤装置，能对气流进行很好的过滤，防止大的颗粒影响测量结果。

控制部分可以进行测量量程的选择，也可对输入气流进行大小调节，推荐输入气流为2巴。探头座上还有灵敏的探头位置调节装置。

3.5附件：

3.5.1研磨盘平整度测试规和标准平面修盘装置一套；

3.5.2必要的技术资料：设备操作使用说明书、维修维护手册、电气接线图及用户认为必须有的技术文件、备件书等。

3.5.3设备运转和维护所必需的其它附件及耗材。

3.6其他要求：

3.6.1 设备显示及计量单位采用国际单位；

3.6.2设备电源采用AC 220V，50/60Hz供电，符合电气化测试要求。

4. 技术服务及培训

4.1设备包装坚固牢靠，适于长途运输，防潮、防锈、防震，适于海、陆运输和整体吊装，保证产品到达之后各项功能完好无损；包装材料必须符合中国有关动植物检疫的规定。设备到货后，由卖方、买方共同开箱验货；卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符。

4.2卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试，在系统整体调试完成，满足合同签订的技术指标，买方认为合格后，签订系统安装验收报告。卖方应在设备到货前一个月，对仪器实验室场地条件，如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书。安装验收应在一月之内完成。

4.3仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训，参与培训人员2～3人。内容为系统操作调整，系统维修保养、校准操作等，使培训人员能够达到仪器简易的故障判别及排除、维修及控制系统调整和系统的实际运行使用，培训人员必须为供货方公司专职技术人员。

4.4质保期自用户签署最终验收报告之日算起，时间至少为12个月；

4.5 卖方承诺本项目有专门的项目负责人负责产品到货、安装、调试、维护等，并承诺在合同执行期间买方在任何工作时间均可以联系上该项目负责人。

4.6在质保期间出现故障，供货商在接收到用户通知后于24小时以内予以回应、提出解决方案，72小时内维修人员到场，5个工作日内排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）；

4.7在质保期内，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的商检、运输、清关等费用均由供货方负担；

4.8设备质保期满后，必须保障设备备件供应及技术服务支持。定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。

5．设备的验收标准及验收程序：

5.1 验收标准：设备调试、验收须按标书中所提供的技术参数进行。

5.2 验收程序：

在买方安装调试完毕，进行最终验收；验收内容以设备技术要求和工艺技术要求为准。安装调试过程中现场对买方操作、维修人员进行培训，并在安装调试完成后对买方工艺人员进行培训，培训完成及验收合格后双方签字生效。

二、投标人的必备资格要求：

（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

（二）投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；

（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。

三、投标报名或资格预审必须提供的文件：

（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；

（二）生产商针对本项目产品授权书原件和各1份复印件；

（三）被委托人身份证原件及法人和被委托人身份证复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。

（四）货物投标承诺书（供应商注册系统——“资源下载”，需法人签字并加盖公章）

四、投标报名注意事项：

1、凡参与投标的供货商，须在采购办主页“货物类供应商注册”系统中注册并审核通过后，方具备项目投标资格。

2、供货商在报名阶段需从投标单位开立账户转账缴纳报名保证金3000元（大写：叁仟元整），不接受现金，保证金到账后方可报名。招标结束后无违约者如数退还（不计利息）。

户　　名：西安交通大学

开户银行：西安市工商行互助路支行

账　　号： ****************314

请于转账后将银行底单发至以下联系人邮箱，并在邮件中注明公司名称、开户行、账号、开户地、投标单位联系人及手机号信息。

3、外地公司请填写附件中的报名登记表，连同资格预审文件原件的扫描件发至以下联系人邮箱。

********/********163626_951.doc" target="_blank">附件：外地公司报名登记表

五、报名时间：2015年5月19日~2015年5月28日(上午8:30-11:30下午3:00-6:00，国家法定节假日及周三下午除外)

六、报名地点：西安交通大学采购与招标管理办公室

地址1：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼E座0908室

地址2：西安市咸宁西路28号西安交通大学计算机教学实验中心七楼采购办办公室

联系人：柴晓玲

联系电话：***-******** ********

电子邮箱：xlchai@mail.xjtu.edu.cn

邮编：710049

欢迎符合条件的供应商参加投标。

注：

　　投标人须对其所提供资料的真实性、合法性、有效性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学的采购活动。

　　报名公司将由采购办按照相关规定进行遴选，没有被遴选入围参与投标的报名公司，恕不另行通知。

西安交通大学采购与招标管理办公室

二零一五年五月十九日