采购项目名称：等离子体去胶机
采购单位：精仪系系馆9003大楼207
付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后3个工作日
交货地址：精仪系系馆9003大楼207
技术参数及配置要求：真空腔体：1）6061T6铝材，圆柱结构，内径250mm，高120mm，表面硬质阳极化2）手动上开盖取放样片3）顶部进气4）侧壁带有1个直径25mm观察窗5）真空系统配置抽速30m3/h的机械泵6）采用电容薄膜规测量腔室真空值气路系统 1）配置三路工艺气体O2，CF4，Ar，采用数字通讯金属密封气体质量流量计（MFC）控制气体流量； 2）MFC量程：0~500sccm 3）配置有CDA用于驱动气动阀门 4）配置一路N2用于泄放工艺腔真空下电极系统 1）样品台采用6061T6铝材，最大支持八英寸样片，向下兼容六、四、二英寸以及碎片 2）样片台带有水冷系统，用以工艺过程中基本表面散热 3）配置500W的射频电源，自动配置，最小稳定工艺功率25W
质保期：12个月
供应商报名地址：点击进入