高真空多靶磁控溅射镀膜机（JJ20221384）采购公告

招 标 正 文
 

高真空多靶磁控溅射镀膜机（JJ20221384）采购公告

项目名称高真空多靶磁控溅射镀膜机项目编号JJ********
公告开始日期166*****77000公告截止日期166*****00000
采购单位重庆大学付款方式预付款10.0万，到货验收合格后支付6.0万，验收合格后1年后支付2.0万
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求合同签订3个工作日内
预 算无
收货地址重庆大学虎溪校区理科楼化工学院
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空多靶磁控溅射镀膜机1台其他仪器
品牌泰科诺
型号JCP350
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求1.真空腔室φ 350× H350mm，SUS304优质不锈钢真空腔室，上开门结构，顶板焊水线；2.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；分子泵：FF-160/620，抽速：600 L/S，1台 KYKY直联高速旋片式真空泵：TRP-24，6 L/s，1台 北仪优成主阀：DN150高真空电动插板阀，1套 北京前级/预抽阀：DN40气动挡板阀，2套 泰科诺放气阀：Φ6 mm，电磁截止阀，1套 七星华创数显复合真空计：两低一高，含规管，1套 成都不锈钢波纹管；1套 泰科诺可拆卸密封采用氟橡胶圈密封；不常拆卸密封采用金属密封 1套 泰科诺3.真空极限6.0× 10-5 Pa（设备空载，抽真空24小时）；4.升压率设备升压率：≤0.8 Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10 Pa；5.抽速从大气抽至5.0× 10-3Pa≤15 min（设备空载）；从大气抽至5.0× 10-3Pa≤10 min（设备空载，干燥氮气环境）；6.基片台①基片台尺寸Φ 120 mm，最大样品尺寸小于Φ 120 mm；配有基片台挡板；②旋转转速0～20 转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源；③加热:室温～500±1 ℃（基片台环境温度）；PID智能温控闭环控温，可控可调；射频接头（用于样品清洗） 1套泰科诺7.溅射靶及电源①配置2套2英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、靶基距手动可调），向上溅射；其中1支为强磁靶，配有气动挡板结构；泰科诺②工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜；③电源：直流脉冲溅射电源1 kW，数字化控制及显示可调控，1台；射频电源RF500W，数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1 kV，数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统质量流量控制器及量程范围：Ar，100 sccm；N2，20 sccm；O2，10 sccm；质量流量控制器及量程范围：Ar，100 sccm；N2，20 sccm；O2，10 sccm；3路七星华创电磁截止阀：Φ 6mm；1套 七星华创混气管：三进一出；1台 泰科诺气管，接头 1套 北京9.膜厚不均匀性≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ75mm 范围内）；10.控制方式PLC+触摸屏控制；11.报警及保护对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；12.空压机 TYW-Ⅱ型 1套循环水机 2P 1台13.铜靶 99.99% 1个镍靶 99.99% 1个
售后服务电话支持:7x8小时;质保期限:1年;响应时间:48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;发票类型:增值税专用发票;质保金:无;售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料和相应软件。1.培训 ①供方派技术工程师对需方人员进行一次免费的设备安装、调试、定位、技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的；②供方应提供详细的培训课程讲义及培训；③安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；④培训地点：用户现场；培训时间：1天。2. 文档资料①设备使用说明书1套；②设备电气原理图1套；③设备易损件清单1套；④装箱单。;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/11/27/20LAZ7Z4ZIYCX3D8.shtml

标签: 磁控溅射 镀膜机 真空

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