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复旦大学单晶衬底生长系统采购 - 国际招标公告

上海沪港建设咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-11-
28在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1招标条件
项目概况:复旦大学单晶衬底生长系统采购

资金到位或资金来源落实情况:已到位已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件

2招标内容
招标项目编号:2000-224HG2206021
招标项目名称:复旦大学单晶衬底生长系统采购
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

3投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1投标人应为符合中华人民共和国招标投标法规定的独立法人或
其他组织
2投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目
的正式授权
3投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台以下简称机电
产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com上完成有效注册
4本项目不允许联合体投标。
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 单晶衬底生长系统 1
3设备要求和技术规格 3.1 工作条件 1工作时间：连续工作持续开机工作 2工作温度：1528 3环境湿度
：80%或更优 3.2 技术参数 4实现反应管内温度20600可调或更宽 5温度稳定性：450度时温度波动小于
0.5波动或更优 6恒温区长度大于400mm，恒温区温差0.25 7拉舟位移重复定位精度：0.1mm或更优于
，拉舟有效行程大于等于280mm 8无负载室温真空值优于：1E-5Torr漏率小于等于5E-9Atm.cc/sec，管路50PSI保压测试无氢气
泄漏 9推舟系统使用波纹管动密封 10温控系统能实现多段控温方式 3.3 真空气路系统 11一级泵：确保无加热环境下
，带负载极限真空优于0.2Torr，使用高质量干泵 12二级泵：确保无加热环境下，无负载极限真空优于510-6Torr，使用高质量分
子泵耐汞要求，质保超过2年 13辅助泵：具有安全可靠的除气功能 14真空测量：电离型高真空规和电容型低真空规测量
，具有高精度测量功能，耐汞腐蚀 15真空管道：真空管道应按照超高真空标准处理，并具备耐腐蚀能力 16控制阀：使用高真空
标准或者半导体级别的阀控系统 17进气需要有2路分路控制，氢气和氮气，保证无漏，流量可控制 18尾气系统具备有水冷回收
系统，尾气净化系统，防回火系统 19故障报警功能：具备密封真空系统互锁功能，真空极值未达到不执行功能。具有氢气泄漏检测
，泄漏停机功能，超压报警处理功能 3.4 加热系统 1采用直流可编程专用温度模块，控制4段加热器 2热电偶：4根1组级精度
热电偶 3加热炉：采用4段温度控制系统 4故障报警功能：具有实现超温断偶报警功能 3.5 电控系统 1控制面板：采用计
算机控制系统实现软件配合硬件操作，具有可编程及功能性 设置，权限性设置等功能 2各监控硬件参数能在面板上体现 3安
装条件： 电压：交流380V5%或更优，三相五线制 环境要求： 温度：0-35 相对湿度：65%不结露洁净室净化等
级：ISO7级或更优 氢气：2kgf/cm2 压缩空气：4kgf/cm2 氮气：3kgf/cm2 冷却水温度：室温或更宽 冷却水压力
：2kgf/cm2。 3.6 计算机及温度记录软件 1计算机配置：监控机要求按监控级别配置(硬盘不小于1T，使用监控级以上硬盘，或更优
) 2具有实时监控温度压力密封状况工艺进程，可自动化进行也可手动进行 3实现编写人性化界面控制软件，能够进行工
艺进程记录曲线，具有实时报警系统 4系统具有数据导出分析软件及接口
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2022-11-28
招标文件领购结束时间:2022-12-05
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：邮件获取
招标文件售价:免费
其他说明:有兴趣的潜在投标人应于2022年11月28日起至2022年12月05日16:00止北京时间，通
过邮箱946275915qq.com，并电话联系招标代理机构联系电话：13523116834获取采购文件，逾
期不再办理。电子招标文件售价零元。未按规定从招标机构处获取招标文件的潜在投标人将不得参
加投标。

5投标文件的递交
投标截止时间开标时间:2022-12-20 14:00
投标文件送达地点:上海市徐汇区斜土路2358号车行入口斜土路2364号人行入口7楼会议室
开标地点:上海市徐汇区斜土路2358号车行入口斜土路2364号人行入口7楼会议室

6投标人在投标前应在必联网https://www.ebnew.com或机电产品招标投标电子交易平台
https://www.chinabidding.com完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公
示。

7联系方式
招标人:复旦大学
地址:中国上海市杨浦区邯郸路220号
联系人:卜老师
联系方式:86-21-65645530
招标代理机构:上海沪港建设咨询有限公司
地址:上海市徐汇区斜土路2358号车行入口斜土路2364号人行入口
联系人:苑老师苗启会
联系方式:1352311683417811909079

8汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):









招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人：签名


招标人或其招标代理机构：盖章

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com