扩散氧化炉

扩散氧化炉

中山大学集成电路学院扩散氧化炉采购项目

基本信息

项目编号 中大招(货)[2022]1701号
项目名称 中山大学集成电路学院扩散氧化炉采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 扩散氧化炉 采购单位 中山大学
项目预算 *** 采购开始时间 2022-12-03 23:46 采购结束时间 2022-12-09 12:00 是否送货
期望收货时间 合同签订后180天交货 经办人 王老师 经办人电话 ********-808
送货地址 广东省深圳市光明新区公常路66号中山大学深圳校区理学园
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、本项目学校不收取任何费用。4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902)提前办理CA证书。5、“★”标注的技术参数为废标条款,如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
扩散氧化炉1台 详情请进入系统查看
"扩散氧化炉"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 ★兼容8寸及以下晶圆集成电路的热处理工艺 非常重要
2 ★工作温度覆盖600℃~1150℃ 非常重要
3 上管:扩散工艺 重要
4 下管:氧化工艺 重要
5 恒温区长度及精度:s±0.5℃/200mm(800℃~1200℃) 非常重要
6 单点温度稳定性:≤±1℃/24h(1000℃) 重要
7 温度斜变能力:最大升温速率≥15℃/min,最大降温速率≥5℃/min; 非常重要
8 气路系统:由质量流量计控制,气体至少包括:氧气、氮气、氩气 重要
9 配备自动进出舟 重要
10 电气控制系统采用PLC+上位机的结构,实现对真空扩散炉的控制,包括对电机、温度、质量流量计和电磁阀/气动阀等进行控制 ;上位机监控软件具有的人机对话界面,能手动控制气体流量、电机、温度,或按工艺编辑的数据自动运行 ;全套软件可在全中文环境下操作,提供全面操作提示,操作人员可以观察各种工艺参数 重要
11 上位机监控系统可对设备的开机时间、操作人员、工艺步骤、气体流量、工艺时间、炉温变化趋势等各项参数如实记录,并图文显示 ;各项参数每隔一段时间周期自动记录一次,工艺完成后作为历史记录可以调出查看或通过外接打印机打印出;可存储工艺温度曲线≥100条,对于不同的炉管,根据工艺需要,可以直接调入相应的成熟工艺曲线运行;工艺过程中如有新的变化和要求,可对工艺参数的下一步进行在线修改 ;工艺中遇到瞬间停电、跳闸等情况时,自动存储当前状况,重新起动后,工艺从断点处继续执行 重要
12 配置清单:1.一体炉1台;2.操控屏1个;3.工艺腔体1个;4.气体系统1套;5.电源线1根;6.说明书1套 重要


欢迎供应商注册、报价,如有疑问请联系技术支持qq:**********

1、注册审核时间为(工作日8:30 - 17:30),一般为当个工作日。
2、缴费确认时间(工作日8:30 - 17:30):
a、对公转账一般到账时间需要四个小时,缴费确认需要四个小时以上,节假日期间请使用微信支付
b、推荐使用微信支付,微信支付实时到账系统自动确认收款,可马上报价。
3、资料准备时间为1-2日,请供应商提前准备。
4、供应商第一次报价可能需要较长时间,请提前报价。



联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 氧化

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