原子层沉积系统（ZBZXJJ20220874）采购公告
原子层沉积系统（ZBZXJJ20220874）采购公告
| 项目名称 | 原子层沉积系统 | 项目编号 | ZBZXJJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 167*****06000 | 公告截止日期 | 167*****00000 |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 进口设备：甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后180个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 一环路南一段24号四川大学望江校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
| 品牌 | 中科艾科米ACME |
|---|---|
| 型号 | ALD-SIM |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 3.1定制ALD主腔体3.1.1真空腔体1. 全金属密封柱形腔体，适用于粉末状样品；法兰与法兰之间采用镀银无氧铜垫圈密封，标准法兰连接拆装方便，同时方便ALD系统的功能拓展。2.反应腔采用316不锈钢材料,表面进行电解抛光处理。3. 反应腔体一端连接气路部分，另外一端连接真空系统。4.该腔体最高可加热至400℃，温度稳定度±1℃。3.1.2框架及支撑结构1. 钣金支撑框架2. 面板：氧化镀锌钢板3.2气路单元3.2.1气路单元1.可同时满足2种前驱体：2路高温鼓泡气路2.包含2路载气： 高温气路1路载气、反应腔体1路载气3. 包含2路反应气：H2，O33.气路温度范围：高温0-200℃4.气路温度控制精度：±1℃5.气体流量控制：0-500sccm6.阀门控制精度：15ms3.2.2高温鼓泡器1. 高温鼓泡器：特殊设计的高温鼓泡器，适用于低饱和蒸汽压固态金属源，显著提高实验的重复性。鼓泡器顶部法兰有连接管，气体入口延伸至鼓泡器腔的底部，出口位于顶部法兰。当气体进入鼓泡器时，可以直接吹扫放置在底部的固体金属源或者在液体金属源中鼓泡，加快金属源的蒸发或者升华，从而显著提高低饱和蒸气压金属源的蒸汽浓度。高浓度的金属源可以加快材料生长，确保完整的原子层生长，从而提高了实验的重复性。2. 容积：100ml3. 全金属CF法兰密封4. 耐受200℃的高温3.2.3臭氧发生器1. 额定臭氧产量5 g/h，2. 额定臭氧浓度：空气源小于等于6mg/L；氧气源10-80mg/L3. 配备单独流量监控设备3.3真空获得单元3.3.1真空规 （Inficon薄膜规）1. 电容隔膜真空计2. CF40法兰接口3. 测量范围：0.001～10torr4. 具有耐腐蚀性3.3.2机械泵（进口品牌）1. 油泵2. KF25 法兰接口；3. 抽速：12m3/h;4. 极限压强：0.02mbar。3.4加热单元3.4.1加热模块1. 温度范围： RT～400℃2. 系统气路及反应腔体部分均可分段升温。保证前驱体在管路流向梯度升温，防止管路杜塞。3.5控制单元3.5.1控制器ALD控制系统主要由上位机PC（自带工控机）、主控制器、测温单元和加热单元组成。主控制器主要负责与上位机PC和下位机通讯，实现对加热单元、测温单元以及真空规和流量计等的控制，并控制ALD阀的通断；测温单元和加热单元则主要用来测量系统各部分的温度以及对其进行加热。ALD控制系统可以控制样品的自动化生长过程。1. 主控制器主控制器集成了1路真空规测量端口、3路气体流量计通讯端口和4路网口；并基于STM32微处理器平台，集成了最多24路电磁阀控制模块。2. 测温单元温度测量采用24位的ADC模块，采用PT100三线制测温方案，测温范围：0～400℃，最多可同时测量48路温度。3. 加热单元基于STM32微处理器平台，每个加热单元集成了最多16路加热输出端口，每路输出电压0～220VAC可调，总功率3500W；两个加热单元配合一个测温单元最多可实现48路温度控制。4. 控制软件基于LabView设计的图形化控制软件。通过该软件可以简单方便地控制系统各部分的温度、阀的开关以及气体的流量等，用户可以根据实验需求自行设定系统的工作流程，实现了系统的自动化运行。软件界面清晰直观，方便了操作人员对系统进行实时监控。5. 上位机PC（工控机）与主控制器进行通讯，操作控制软件对系统进行自动化工艺流程的控制。该工控机采用15英寸LCD液晶显示屏，Windows10操作系统，配备无线鼠标和键盘或使用触摸屏进行操作。3.6反应物热分解单元3.6.1微型管式炉配备了高温炉，燃烧未反应前驱体，用于保护真空泵。1. 最高工作温度：1200℃2. 连续工作温度：小于1150℃3. 采用双层壳体结构，并带有风冷系统4. 炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失。5. 尺寸：380mm × 320mm × 430mm |
| 售后服务 | 服务年限:60月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
标签: 原子层沉积
0人觉得有用|
招标
|
- 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无
