[政府采购]东北师范大学物理学院聚焦电子束光刻系统（进口）设备采购单一来源采购公告

东北师范大学物理学院聚焦电子束光刻系统（进口）设备采购项目，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定已报请财政部备案，采用单一来源方式采购。

一、项目信息

采购人：东北师范大学

项目名称：东北师范大学物理学院聚焦电子束光刻系统（进口）设备采购

项目编号： ZZ*****HW********

拟采购的货物或服务的说明：聚焦电子束光刻系统，数量：1套

拟采购的货物或服务的预算金额：92万欧元（人民币限额640万元）　

采用单一来源采购方式的原因及说明：

我校拟采购聚焦电子束光刻系统，该系统是集成电路微纳器件、特种芯片、半导体精密掩膜制造的关键技术。设备可广泛用于集成电路领域的科学研究和教学活动，为物理、化学和生物等多个学院科研团队提供核心技术支撑。同时该设备有利于解决我国在该领域面临的关键问题，满足国家重大战略需求。

但根据调研，德国Raith公司生产的eLINE Plus系列电子束光刻系统，具有优异的低电压曝光能力，可以避免过高电压对某些特殊材料的损伤；此外，具有独有的对周期性结构进行无拼接误差的连续直写模式（MBMS），可以实现无写场拼接的周期结构制备，该方法可制备任意周期结构，这种特殊曝光模式与我们的具体实验需求十分契合。以上均是其它公司做不到的技术，具有唯一性。因此，只能采用单一来源采购方式进行采购。

二、拟定供应商信息

供应商名称：锐时科技（北京）有限公司

地 址：北京市北三环东路环球贸易中心A座709室

三、协商时间及地点：2022年12月16日9时00分、长春市二道区东南湖大路3030号，中资国际工程咨询集团有限责任公司一楼开标室。

四、其他补充事宜：

1. 本次公告同时在中国政府采购网及东北师范大学政府采购与招标管理中心网发布。

五、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系

1.采购人：东北师范大学

联系地址：吉林省长春市人民大街5268号

联系人：陈老师

联系电话：0431-********

技术联系人：王老师

联系电话：139*****192

2.采购代理机构：中资国际工程咨询集团有限责任公司

联系地址：长春市二道区东南湖大路3030号

联系人：陈东

联系电话：0431-********