磁控溅射物理气相沉积机(IGZO)国际招标公告(1)-0730-224011020568/31
磁控溅射物理气相沉积机(IGZO)国际招标公告(1)-0730-224011020568/31
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 磁控溅射物理气相沉积机(IGZO) | 1台 | (1)本系统是物理气相沉积系统,可以进行基板IGZO材料薄膜沉积,可在短时间(节拍时间)内沉积一定厚度的薄膜;(2)满足FAB需求:*****mm(L)******mm(W)*8000mm(H)(3)Pass line高度1300mm~5700mm。 | 0730-224*****0568/31 |
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