彩膜预烘烤和冷却机装置国际招标公告(2)-0730-224011020568/29
彩膜预烘烤和冷却机装置国际招标公告(2)-0730-224011020568/29
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 彩膜预烘烤和冷却机装置 | 10台 | (1)本系统是光阻涂布后的预烘烤和冷却系统,可以进行基板加热烘干和冷却动作,可在短时间(节拍时间)内对彩膜黄光制程进行高精度处理;(2)类型:5HP+3CP+3Robot Booth+EFU(3)满足FAB需求:≤*****mm(L)*6800mm(W)*6500mm(H)。 | 0730-224*****0568/29 |
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