仪器共享服务采购公示
公示开始日期
2022.12.16
公示截止日期
2022.12.19
服务名称
仪器共享服务
主要服务内容
低压化学气相沉积(LPCVD)设备—多晶硅、二氧化硅以及氮化硅等介质膜生长的工艺能力;碳化硅高温栅氧炉—高温通入氮氧化合物气体数。
金额
******元
供应商
浙江大学微纳加工中心
经办人
程老师
联系电话
133*****968
对以上公示内容有异议的,请于公示截止日前以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务管理部(联系电话:0571-********;0571-********)。
标签: 仪器共享
招标 业主
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