感应耦合等离子体刻蚀机招标公告
感应耦合等离子体刻蚀机招标公告
| 项目名称1 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | 项目编号 | WLU-HW-XJ-NM-2022-0231 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2022-12-19 15:22:25 | 公示截止日期 | 2022-12-28 16:00:00 | ||
| 采购单位 | 西湖大学 | 付款方式 | 内贸部分：货到验收合格后付全款 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 到货时间要求 | 内贸部分：3-4个月 | 预算总价 | ￥700,000 | ||
| 收货地址 | 云谷校区 | ||||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 原厂授权书/经销授权书(必选)投标授权委托书(必选) | ||||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 感应耦合等离子体刻蚀机采购 | 1 | 台 |
| 品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | |||
| 预算 | ￥700,000 | ||
| 技术参数 | 1、设备刻蚀材料广泛，包括并不限于Si、SiO2、ITO、聚合物等 2、刻蚀腔体尺寸：Φ350mm*H300mm，铝质桶形卧式结构，上盖可自动开闭。 3、Load-lock腔体尺寸：L500mm*W400mm*H200mm，铝质卧式结构，上盖自动开闭。 4、极限真空度：刻蚀室：≤5×10-4Pa；Load-lock室：≤6.7×10-1Pa 5、刻蚀室系统漏率：5×10-7Pa.l/s 6、刻蚀室静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa 7、抽速：系统充干燥N2解除真空，通过Load-lock送样后抽气抽至5×10-3Pa时间≤15min。 8、射频阴极尺寸（最大样品尺寸）：Φ200mm。 9、Load-lock室最大运送样品尺寸：Φ6英寸 10、刻蚀均匀性：≤±5%（Φ6英寸） 11、主要工艺气体配置：SF6、CHF3/CF4、C4F8、O2、Ar、He（视具体刻蚀工艺） 12、电源配置：耦合电极（上电极）：13.56MHz，1000W自动匹配；偏压电极（下电极）：13.56MHz，600W自动匹配 13、自动压力控制系统：包含。 14、刻蚀距离自动调节范围：20mm-80mm，调节精度：1mm 15、水冷工作台温度：5℃~30℃ 16、控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式。 17、包含安全报警系统。 | ||
| 售后服务 | 质保期:1年; | ||
西湖大学
2022-12-19 15:22:2
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