公告日期： 2015-6-16~2015-6-25

招标编号：西交采招（2015）S100

项目名称：ICP刻蚀机

招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室

西安交通大学根据国家政府采购法律法规和学校管理要求, 拟以招标方式采购下列货物。

一、招标采购项目内容及数量：ICP刻蚀机（1套）

深硅刻蚀

1、深硅刻蚀Bosch工艺简介

目前深硅刻蚀普遍采用的是Bosch工艺，这是一种硅各向异性的刻蚀方法。Bosch工艺来源于德国罗伯特.Bosch公司，其主要的工艺流程是采用SF6作为刻蚀气体，进行各项同性刻蚀，再切换至C4F8作为沉积气体，进行侧壁保护。经过多次循环后，可以实现高深宽比各向异性刻蚀的目的。

相比较于传统的刻蚀工艺，Bosch工艺能达到更高的深宽比（50:1），更快的刻蚀速率，更高的选择比，因此可以广泛用于MEMS、TSV、封装等多项技术中。

2、由于Bosch工艺具有上述性质，因此其对设备硬件的主要要求如下：

（1） 质量流量计MFC需要选用快速切换型号，保证步骤切换能够达到1秒的水平。目前认为MFC的反应速度应该低于0.3秒；MFC离反应腔室的距离应尽可能短；

（2） 设备真空度需要达标，保证残留气体能够迅速被抽离腔室，也就是分子泵抽速需要较高；

（3） 设备电源和匹配器需要达到相应的快速匹配速度；

（4） 为达到较快的刻蚀速率，源功率需要较高，建议1000W以上；

（5） 由于工艺包括刻蚀和沉积两个步骤，压强的控制需要尽量精确，建议采用摆阀控制；

（6） 为防止设备沉积物产生，建议配置可独立更换的内衬，腔室需要能加热至120℃以避免反应副产物污染；

（7） 配备可用于SOI和SOG刻蚀的工艺套件；

（8） 建议厂家提供多种工艺调试和开发的服务。

二、投标人的必备资格要求：

（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

（二）投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；

（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。

三、投标报名或资格预审必须提供的文件：

（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；

（二）生产商针对本项目产品授权书原件和各1份复印件；

（三）被委托人身份证原件及法人和被委托人身份证复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。

（四）货物投标承诺书（供应商注册系统——“资源下载”，需法人签字并加盖公章）

四、投标报名注意事项：

1、凡参与投标的供货商，须在采购办主页“货物类供应商注册”系统中注册后，方具备项目报名资格。

2、供货商在报名阶段需从投标单位开立账户转账缴纳报名保证金3000元（大写：叁仟元整），不接受现金，保证金到账后方可报名。招标结束后无违约者如数退还（不计利息）。

户　　名：西安交通大学

开户银行：西安市工商行互助路支行

账　　号： ****************314

请于转账后将银行底单发至以下联系人邮箱，并在邮件中注明公司名称、开户行、账号、开户地、投标单位联系人及手机号信息。

3、外地公司不需现场报名，请填写附件中的报名登记表，连同资格预审文件原件的扫描件发至以下联系人邮箱。

********/********120847_912.doc" target="_blank">附件：外地公司报名登记表

五、报名时间：2015年6月16日~2015年6月25日(上午8:30-11:30下午3:00-6:00，国家法定节假日及周三下午除外)

六、报名地点：西安交通大学采购与招标管理办公室

地址1：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼E座0908室

地址2：西安市咸宁西路28号西安交通大学计算机教学实验中心七楼采购办办公室

报名联系人：柴老师

联系电话：***-******** ********

电子邮箱：xlchai@mail.xjtu.edu.cn

邮编：710049

用户单位联系人：李老师 联系电话：180*****051

欢迎符合条件的供应商参加投标。

注：

　　投标人须对其所提供资料的真实性、合法性、有效性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学的采购活动。

　　报名公司将由采购办按照相关规定进行遴选，没有被遴选入围参与投标的报名公司，恕不另行通知。

西安交通大学采购与招标管理办公室

二零一五年六月十六日