PECVD尾气处理设备国际招标公告(2)-0730-224011020007/105
PECVD尾气处理设备国际招标公告(2)-0730-224011020007/105
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | PECVD尾气处理设备 | Array:5套;TFE:6套 | (1)废气处理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域(2)NF3:≥99% (3)SiH4:≥99% | 0730-224*****0007/105 |
标签: 理设备国际
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