上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(2)-4197-2140SHJT0001/214
上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(2)-4197-2140SHJT0001/214
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2140SHJT0001/177 | 晶背刻蚀机 | 1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/214 | 多晶硅沉积炉管 | 2 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/215 | 多晶硅沉积炉管;氧化硅沉积炉管 | 1;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/216 | 8吋多晶硅刻蚀机;8吋浅沟等离子刻蚀机;8吋金属(W)等离子刻蚀机;8吋介质刻蚀机;6吋多晶硅刻蚀;6吋后段介质刻蚀;6吋深沟槽等离子刻蚀机;6吋金属等离子刻蚀 | 2;1;1;1;1;1;1;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/217 | 高温激活炉管 | 1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/352 | XCDA 纯化器 | 3 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
标签: 特色工艺生产
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