光阻涂布显影设备&有机平坦层光阻重工设备招标公告
光阻涂布显影设备&有机平坦层光阻重工设备招标公告
中国电子进出口总公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-06-30在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:友达光电(昆山)有限公司第6代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板(LTPS TFT-LCD)生产线项目所需设备采购
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-154AUOKS0001/03
招标项目名称:第6代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板(LTPS TFT-LCD)生产线项目
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-154AUOKS0001/02 | 曝光机 | 10 sets | 设备描述:本设备主要用於面板陣列TFT圖型製程。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。 | 招标文件售价:RMB 30000.00/USD 5000.00 |
0714-154AUOKS0001/03 | 光阻涂布显影设备&有机平坦层光阻重工设备 | Coater/Developer Machine(光阻涂布显影设备) 6 setsDeveloper Machine(有机平坦层光阻重工设备) 1 set | 设备描述:光阻涂布显影设备&有机平坦层光阻重工设备,该系统主要用于涂布/ 显影系统的图案生成与有机光阻重工去除。 | 招标文件售价:RMB 15000.00/USD 2500.00 |
0714-154AUOKS0001/04 | 激光退火机 | 4 台 | 设备描述:该设备用于六代低温多晶硅面板工艺中非晶硅转化为多晶硅。 | 招标文件售价:RMB 20000.00/USD 3400.00 |
0714-154AUOKS0001/05 | 化学气相成膜机 | 6 sets | 设备描述:该设备用于6代低温多晶硅面板工艺中应用于化学气相成膜制程。 | 招标文件售价:RMB 20000.00/USD 3400.00 |
0714-154AUOKS0001/06 | 干蚀刻机 | 7 sets | 设备描述:本设备用于阵列制程中,当玻璃基板成膜形成Photo Pattern后,以干法刻蚀加工为目的。 | 招标文件售价:RMB 20000.00/USD 3400.00 |
0714-154AUOKS0001/07 | 快速高温退火机 | 1 set | 设备描述:快速高温退火机是一种利用高温修复注入后的晶格损伤,激活杂质离子的设备。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/08 | 透明电极金属溅镀机 | 1 set | 设备描述:此透明电极金属溅镀机主要用于溅射氧化铟锡到玻璃基板上。 | 招标文件售价:RMB 5000.00/USD 850.00 |
0714-154AUOKS0001/09 | 金属溅镀机 | 3 sets | 设备描述:此金属溅镀机主要用于溅镀金属薄膜工程(含闸极/源汲极/屏蔽极等金属溅镀机)。 | 招标文件售价:RMB 15000.00/USD 2500.00 |
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