公告日期：2015年06月30日
招标编号: 2015[134]

招标机构名称: 南京大学国有资产管理处

地 址：南京市鼓楼区汉口路22号南京大学（国有资产管理处2楼办公室）

邮 编：210093

电 话：***-********

联系 人：王咏妙 王旭 张洁 刘晓雪 吕春梅

南京大学国有资产管理处具体承办南京大学“磁控溅射、手套箱联用系统”项目的招标采购事宜，欢迎有意向的合格投标人报名投标。

邮件报名截止时间：2015年7月7日下午14:00。

一、报名方式：

合格投标人将营业执照（加盖公章）扫描件和投标申请表（见下表,Word 文档）以附件形式发至：toubiaonju@126.com 报名邮件主题统一为：2015[134]磁控溅射、手套箱联用系统。因报名邮件主题不符合要求导致报名信息未能被统计，本招标机构概不负责。”

投标申请表

项目名称：

投标编号：

投标单位：

联 系 人：

联系方式：

电子邮箱：

申请时间：

二、招标要求：

1. 系统的主要组成部分

1) 高真空单靶磁控溅射镀膜系统；

2) 手套箱；

3) 系统主要由溅射室、永磁磁控溅射靶（三个靶）、直流电源、射频电源、样品台、样品加热炉、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。

2. 各部分的性能指标

1) 磁控溅射系统

a) 组成部分：溅射室、强磁靶、射频电源、样品台、样品加热炉、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成工艺真空室、等离子体发生装置、加热器系统、加热电源、传输系统、工作气路、抽气系统、真空测量及电气控制系统、安装机台等各部分组成；

b) 溅射室采用双门结构，一端连接大气，另一端放置在手套箱里；

c) 极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；

d) 系统从大气开始抽气，60分钟可达到6.6x10-4 Pa；

e) 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；

f) 1套60mm高性能强磁磁控靶，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，向下溅射成膜，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射各种金属材料（包括铁磁性金属），磁控靶配有气动挡板结构；

g) 样品台布置在真空室下部，可放置不小于直径100毫米样品1片，样品具有连续旋转功能，旋转5—30转/分连续可调；

h) 样品台具有加热功能，加热温度：室温~600°C，由热电偶闭环反馈控制，可控可调；

i) 系统配有二路质量流量计控制进气系统；

j) 内部压强控制采用手动插板阀和气体流量，手动控制；

k) 自动匹配射频电源功率不小于500W。

2) 手套箱

a) 2.4米手套箱一台；

b) 溅射室一侧在手套箱内部开门，用于更换样品。

3. 售后服务

1) 按质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；

2) 提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；

3) 在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费。

4) 每年免费提供2次设备巡检，保证客户设备处于完好状态。

5) 负责该系统的培训，内容包括：了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法；熟练掌握整套系统的操作规程；能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换；对设备能够进行日常的维护和保养。

三、其他事项：

1、 参与投标的公司必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

2、法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司，都不得同时投标，否则取消其投标资格；

3、此采购事宜的解释权属于南京大学国有资产管理处。

南京大学国有资产管理处

二〇一五年六月三十日