项目名称：Lens耦合机采购1套

发布单位：联合微电子中心有限责任公司

发布时间：2023.1.15

投标人资格条件：满足使用需求以及其他

相关文件获取时间和方式：获取时间为2023.2.1前，线下或线上获取

联系人：李琴琴，联系方式：023-********，电子邮件：qinqin.li@cumec.cn

关键技术要求：

1-1套6轴调节架，调节精度±0.5μm；X/Y/Z轴行程：±6.5mm， 角度行程：X/Y轴±2.5°、Z轴±4°；

平移最小分辨率：±0.5μm，角度最小分辨率：27.8”

2-可同时观察方向不少于3个方向：垂直、水平和45°倾斜等方向，观察系统的放大倍数不低于100倍

3-自带紫外固化系统，可根据不同产品自主设计紫外固化程序

4-系统具备光斑测试和光轴角度偏转测试等功能，可分别测试远场和近场光斑

5-支持自动点胶

6-软件程序对应产品以菜单形式保存封装程序及参数，且支持软件的二次开发

7-显示屏不低于32寸，可以四分屏遥控切换

8-光学平台需要具备气浮减震功能