1.招标条件

本项目已通过主管部门审批，招标人为哈尔滨工业大学，项目已具备招标条件，现对该项目进行第二次公开招标。

2.项目概况

2.1项目名称：电子探针

2.2项目编号：HITZB-979

2.3采购数量：1

2.4采购需求及主要技术指标（以用户提供序号排序）：

(一)技术规格：

1、技术参数

1.1 二次电子分辨率：5nm（工作距离11mm）

*1.2 电子枪：六硼化镧，采用预对中灯丝，不需机械调节，灯丝饱和点自动调节

1.3 电子枪对中：二级偏转电磁式，可显示灯丝像

1.4 加速电压：0.2 ~ 30kV(步长为0.1kV)

*1.5 束流范围：10-5 ~ 10-12A

*1.6 束流稳定度：±0.05%/h; ±0.3%/12h

1.7 放大倍数：×40 ~ ×300,000

1.8 物镜：超级小物镜（水冷）

*1.9 物镜光栏：4级可变光栏

1.11 自动聚焦：标准配置

1.12 自动消像散：标准配置

1.13 自动衬度/自动亮度：标准配置

1.14 大焦深模式：标准配置

2. 波谱系统

2.1 元素探测范围：5B ~ 92U（标准）

2.2 谱仪2θ角范围：XCE型谱仪：25°~ 136°

H型谱仪：36°~ 118.5°

2.3 X射线出射角：40°

*2.4 罗兰圆半径：140mm（XCE、TXE、FCS型谱仪）和100mm（H型）组合使用

2.5 谱仪道数：4道谱仪

2.6 谱仪控制：异步控制+同步控制

*2.7 分光晶体的交换：自动交换；晶体可在谱仪扫描区间任何位置交换，交换后无需调整

2.8 X射线探测器：气流正比计数管(GPC)

氙气正比计数管(XPC)

2.9 X射线波谱分析实验条件（主放大器，增益，探测器高压，脉冲高度分析仪等）：根据所测元素及相关的分光晶体，自动设置实验条件

2.10 自动全元素定性分析：约40秒

3、真空系统

3.1 真空度：好于1.0×10 -3 Pa

*3.2 真空泵： 由分子泵、机械泵、离子泵组成，对轻元素的分析没有影响

3.3 抽真空时间：探针从开机到正常工作，抽气时间为20分钟。

3.4 真空控制：全自动

3.5安全装置：当出现意外时（如真空漏气、真空度下降、电源故障、冷却水故障等），电子探针各系统自动保护系统启动

3.6紧急停机：紧急停机按钮

3.7真空度检测：高真空规（Penning gauge）及低真空规（Pirani gauge），装有检漏功能

4、电子检测系统

4.1 二次电子检测器

4.2 高灵敏度背散射电子检测器

*4.3 电子束电流检测器(PCD)

5、光学观察系统

*5.1 精准定位光学显微镜： 焦深误差≤±1 mm; CCD显示

6、样品台系统

6.1样品室：适合大尺寸样品，最大样品尺寸：100mm×100mm×50(H)mm

6.2分析区域：90mmx90mm

*6.3样品台移动距离：X=90mm, Y=90mm，Z=7.5mm(WD=11mm)

6.4三轴马达驱动样品台(X\Y\Z)，除X和Y方向驱动样品外，还可沿对角线方向移动样品

*6.5样品台微动模式为最小步长：≤0. 02μm/step

6.6样品交换：气锁式交换样品

6.7 配备25.5 (直径)′20 mm (H)样品台一个，可同时安装9个样品

6.8标配32（直径）x25mm(H)样品台一个，此台携带13种标准样品（Mg, Al, Si, Ti, Cr, Fe, Ni, Cu, Zr, Mo, Cd, W, Au）

6.9 配备36 (直径)′20 mm (H)样品台一个，可安装4个样品

6.10 配备70mm*100mm*10mmH样品台一个

7、数据处理系统

7.1 计算机单元：PC控制 windows7系统

7.2 处理器：32bits

7.3　内存：3GB以上

7.4 硬盘：80GB以上

7.5 光刻机：标配

7.6显示器：19英寸液晶显示器

8.软件：

8.1 除标配软件外，须提供相分析软件、定量面分析软件。

9、能谱仪

9.1 *能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速SDD芯片，晶体有效检测面积30mm2，

9.2 *脉冲处理板集成在探测器内，无需单独的谱仪箱，使系统更加高效和稳定。

9.3 分析元素范围：Be4~Am95

9.4 能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV,严格依照ISO15632国际标准测量

9.5 在0~200kcps范围内的分辨率稳定性：> 90%

9.6 可处理最大计数率:1,600,000CPS，最大输出计数率>850,000CPS，

9.7 分析平台：GENESIS分析软件，可实现点，线，面分析。

9.8 智能定性分析：基于物理原理的定性分析技术——专家型峰识别（Expert ID）

10. 高真空喷碳仪一台

10.1 真空度：优于2*10-3Pa

10.2 试样台尺寸：直径40mm

10.3 钟罩尺寸：88mmD*140mmH

10.4 真空系统由分子泵、机械泵组成

11. 标准样品一套

11.1.氧化物标样台 1套 35个

11.2.金属组合标样 1套 36个

11.3.硫化物，超轻元素标样台 1套 21个

11.4.稀土五磷酸盐组合标样 1套 15个

11.5.硅酸盐矿物组合标样 1套 36个

11.6. ZTC铁碳/铁铬/铁镍合金组合1套 15个

12. 配备15kv UPS整机电源，延时不低于1小时。

（二）配置要求：

1. 电子探针主机系统 1套(配备4道谱仪，包括进口循环水冷系统、自动稳压电源系统)

2. 电制冷能谱仪 1套

3. 专用工具、维修工具 1套

4 电子探针仪器备品备件 1套

4.1 灯丝：六硼化镧灯丝3根，钨灯丝36根

4.2. 其他保证电子探针正常运行和常规保养所需的附件、备件、专用工具和消耗品

5. 标准样品一套

6 整机UPS电源一套

7 高真空喷碳仪一台

（三）服务要求：

1. 质量保证期：设备自验收之日起36个月。

2. 安装调试要求：仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后的10日内，安排有经验的工程师到仪器的最终用户安装仪器并在安装后对仪器进行调试，售后响应时间3个工作日。

3. 培训要求：设备安装后即在用户所在地对操作人员进行免费培训，免费1人参加厂家举办的培训班。

4.交货期：合同后6个月

3.投标人资格要求

3.1投标人需具备中华人民共和国境内的独立法人资格，本次招标不接受联合体投标，不允许将项目分包或转包。

3.2投标人需具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的条件，并未被列入政府采购黑名单。

4．资格审查方式

本项目采用资格后审方式,主要资格审查标准、内容等详见招标文件。

5.投标报名

凡有意参加投标者，请于2015年7月10日至2015年7月16日(法定公休日、法定节假日除外)，每日上午8时30分至11时30分，下午13时30分至16时30分(北京时间)，将报名材料(本公告附件1、附件2)送达或邮寄（以签收邮件时间为准）至哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼110房间。

6.招标文件的获取

如果报名符合开标条件，招标文件将以电子邮件的形式发送到您报名表中所留的邮箱，敬请自行查阅，哈工大招标与采购管理中心不再另行通知，请按招标文件要求交纳投标保证金等相关费用，以获取投标资格。

7.投标文件的递交

7.1投标文件递交截止时间及地点详见招标文件。

7.2逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

9.本项目招投标过程中如出现有弄虚作假、恶意投诉和无理缠诉行为的投标企业，将严格按相关法律和规定处理。

10.联系方式

招标机构：哈尔滨工业大学招标与采购管理中心

地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼110房间

邮编：150001

招标联系人：李占奎 李桂霞 电话： ****-******** 邮箱:zhankui@126.com

技术联系人：范国华 电话： ****-********
哈尔滨工业大学招标与采购管理中心

2015年7月10日