序号

名称

主要技术参数

主要附件

用途

数量

1

聚焦离子束扫描电镜双束系统

1.仪器用途：

1.1用于固体催化剂样品的高分辨形貌观测，样品表面的精细加工，制备微纳结构。

1.2 能够对整颗催化剂颗粒进行三维重构。

1.3 配置能谱(EDS)和电子背散射衍射谱(EBSD)系统，可以测试催化剂表面和截面的EDS和EBSD谱图。

1.4 能够对整颗催化剂颗粒进行减薄处理、TEM样品制备、STEM测试。

2.仪器性能指标

2.1 电子束

2.1.1 最佳工作距离分辨率：1.4 nm @ 1 kV

*2.1.2 束交叉点分辨率：1.8 nm @ 1 kV

2.1.3 加速电压：0.4 kV - 30 kV，连续可调，包含电子束减速模式

2.1.4 能够自动合轴、自动对中，自动调节亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦

2.1.5工作距离可调范围不小于1 - 50 mm

2.1.6 单只电子枪寿命不少于1年

2.2 离子束

2.2.1 离子源种类：液态Ga离子源

2.2.2 交叉点分辨率：4.0 nm @ 30 kV

*2.2.4 共焦点距离：4 - 5 mm

2.2.5 加速电压：0.4 kV - 30 kV

2.2.6 束流强度：1 pA - 100 nA

2.2.7 单只离子枪寿命不少于1000小时

*2.2.8 能够实现对催化剂样品实时的边切边看功能

*2.2.9 能在共焦点位置加工磁性样品

2.3 样品台与真空系统

2.3.1 五轴或六轴全自动、优中心样品台

2.3.2 X、Y方向移动范围不低于100 mm

*2.3.3 配置高精度样品台，驱动轴数 ≥ 5，至少可在X、Y、Z、T、R轴精确移动，X、Y方向全范围内精度：≤ 1.0 μm，确保在任意工作距离下倾转感兴趣点不发生位移，始终保持在视野中心

2.3.4R轴旋转范围360°

2.3.5 T轴倾角范围宽于0° - 50°

2.3.6 样品室真空度低于8×10-4 Pa

2.3.7 换样时间小于5分钟

2.3.8 配备集成的等离子清洗系统，用于去除样品表面及样品室的污染

2.3.9 配备TEM铜网样品座

2.4 探测器

2.4.1 配置镜筒外二次电子探测器

2.4.2 配置镜筒外背散射电子探测器

2.4.3 配置极靴内/镜筒内二次电子探测器

2.4.4 配置极靴内/镜筒内背散射电子探测器

2.4.5 样品室红外CCD相机

2.4.6 样品室导航相机

2.5 气体注入系统

2.5.1 配备2种可用沉积气体，一种为Pt或W，另一种为C，两种沉积气体分别配备独立的气体注入器，可分别独立操作与更换

2.5.2 可在离子束、电子束诱导下进行金属沉积

2.5.3 单支气体使用时长：≥ 100小时

2.6 能谱仪EDS

*2.6.1 牛津Ultim Max 65

2.6.2 分析型SDD硅漂移电制冷探测器

2.6.3 有效面积65 mm2

2.6.4 元素分析范围：Be4 - Cf98

2.6.5 能量分辨率：Mn Ka保证优于127 eV(@计数率130,000cps)

2.6.6 电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建

2.6.7 定量分析：采用XPP定量修正技术

2.6.8 具有完备的5 kV和20 kV两个无标定量数据库

2.7 电子背散射衍射仪EBSD

*2.7.1 牛津C-Swift+

2.7.2 采用CMOS图像传感器技术，高效率、高分辨率光学系统，能够与各主流型号的电镜良好配合

2.7.3 在线采集速度2000点/秒，同时采集EDS和EBSD数据时互不影响

2.7.4 在250点/秒速度下，可以采集622*512像素的EBSD花样

2.7.5 角度分辨率可达0.05°

2.7.6 配备主动防碰撞系统，未接触即可自动退回探头

2.7.7 配置正版HKL标准数据库和ICSD海量晶体学数据库

2.7.8 应用软件采用多任务设计，可以同时并行数个任务。操作软件完全与能谱仪软件一体化，可进行EBSD晶体取向分布分析。可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定(Phase ID)，实现能谱EBSD同时联机分析且不降速

2.8 STEM探测器

2.8.1 配置STEM探测器，能够得到高角环形暗场像(HAADF)

2.8.2 STEM分辨率优于0.7 nm @ 30 kV

2.9 样品制备系统

*2.9.1 配置纳米机械手(原厂或配置第三方牛津的OmniProbe 400纳米机械手)，能够进行透射样品制备，可边操纵边观察，保证各向重复精度小于2 μm，同时可在计算机控制下进行360°旋转

2.9.2 实现全自动制备TEM超薄样品和高空间分辨率TKD样品

2.9.3 包含自动切割、自动提取、自动焊接、自动减薄等功能，能够提取出单科具有特征性的催化剂颗粒，直径约100微米

2.10 三维重构

2.10.1 具备三维重构功能，最小自动切片厚度小于3 nm

2.10.2 切片时能够自动进行SEM自动聚焦、自动消像散等操作

2.10.3 配置三维重构仪器控制软件和三维数据重构分析软件，软件支持电镜多种数据的读取和导出

2.10.4 只要厂家还对仪器支持，保证将软件免费更新至最新版本

2.11 其它配置

2.11.1 冷却循环水系统1套

2.11.2 空气压缩机1套

2.11.3 与仪器配套的真空泵1套

2.11.4 UPS电源1套

2.11.5 主动消磁器1套

2.11.6 仪器减震平台1套

2.11.7 多功能控制面板(旋钮盘)1套

2.11.8 用于放置电脑、鼠标、键盘、多功能控制面板(旋钮盘)的工作桌1套

2.12 分析软件

2.12.1包含分析仪器控制软件与数据分析软件，并包含软件使用授权

2.12.2分析仪器控制软件可数位化控制仪器主机单元的关键部件，实现抽放空、离子束控制、电子束控制、样品平台移动等功能

2.12.3 数据分析软件可进行图片处理、尺寸量取、图片拼接、三维重构结果生成与渲染等功能，图片格式包含但不限于 TIFF、BMP、JPEG 格式

*2.12.4 配备大面积自动拍照拼图软件

2.12.5 只要厂家还对仪器支持，保证将软件免费更新至最新版本

2.13 随机工作站与显示屏配置要求

2.13.1 主流品牌商务工作站3台或以上，能够流畅运行仪器配套软件。其中1台工作站用于仪器控制，1台工作站用于EDS和EBSD控制，另1台工作站用于数据处理、三维重构结果生成与渲染等

2.13.2 包含Windows 10或以上正版软件

2.13.3 仪器控制、EDS和EBSD控制工作站配置要求：处理器Intel Core i5或以上，内存不小于16 GB，硬盘容量不小于1T，多个USB接口，配备USB有线网卡、USB无线网卡、USB蓝牙适配器、USB光驱、鼠标、键盘

2.13.4 数据处理工作站配置要求：处理器Intel Core i7或以上，内存不小于128 GB，独立显卡显存16 GB以上，硬盘容量不小于4T，其中固态硬盘容量不小于2T，多个USB接口，配备USB有线网卡、USB无线网卡、USB蓝牙适配器、USB光驱、鼠标、键盘

2.13.5 显示屏3台或以上，每台显示屏分辨率不小于1080p，屏幕尺寸不小于24英寸

2.13.6 配备USB固态硬盘(不小于2T)4个，固态U盘(不小于64 GB)2个，网线4根，USB扩展坞(不少于4个USB口)2个，网络交换机(不少于4个网络接口)2个

3.仪器分析精度与验收指标：

3.1 分别使用镜筒外二次电子探测器、镜筒外背散射电子探测器、极靴内/镜筒内二次电子探测器、极靴内/镜筒内背散射电子探测器、样品室红外CCD 相机、样品导航相机拍摄样品，保证测试过程与结果正常。

3.2 对用户提供的单颗催化剂颗粒(直径在100微米左右)进行三维重构，得到三维模型，测试过程与结果正常。

3.3 对用户提供的催化剂颗粒进行减薄处理，并进行STEM和TKD的测试，测试过程与结果正常。

3.4 使用EDS和EBSD检测器分析催化剂颗粒的表面和截面，测试过程与结果正常。

3.5 纳米机械手的操作：从用户的催化剂样品中提取单颗催化剂颗粒，并焊接于铜网上，保证操作过程中没有故障。

3.6 使用大面积自动拍照拼图软件，拍摄并拼接催化剂全景图。

3.7 提供镓离子源寿命(≥ 1000小时)的测试报告或功能截图等技术支持性文件。

4.技术培训

4.1仪器安装完毕后，对仪器的基本使用提供现场培训。

4.2 另提供至少2个线下培训课程的名额，对仪器的软硬件使用提供系统培训。

随机配置清单(标配)：

1.双束电镜一套，包括以下：

(1)双束电镜主机1台(包含电子束，离子束、镜筒内外二次电子探测器、镜筒内外背散射电子探测器、STEM探测器、红外CCD相机、样品导航相机、具备导航功能的样品座、透射样品台、真空泵系统等)，(2)多功能控制面板/旋钮盘1套，(3)牛津EDS探测器1套，(4)牛津EBSD探测器1套，(5)等离子体清洗系统1套，(6)气体注入系统1套、Pt或W沉积气体1套、C沉积气体1套，(7)自动纳米机械手1套，(8)仪器操作与数据处理软件1套，(9)三维重构硬件和软件系统1套，(10)大面积自动拍照拼图件和软件系统1套，(11)工作桌1套，(12)减震台1个，(13)主动消磁器1套，(14)冷却循环水系统1套，(15)空气压缩机1台，(16)UPS不间断电源1套，(17)说明书及随机资料1份，(18)电源线1套，(19)常用维修工具1套等。

2.除标配外，另配耗材：(1)常规样品平台100个；(2)能够满足EDS和EBSD三维重构的各种规格样品台不少于5个；(3)导电胶带12卷；(4)导电银胶3瓶；(5)制备TEM样品的铜网500个；(6)高精度镊子2把；(7)SEM样品存放盒5个；(8)离子枪(包括离子源、抑制极、拔出极)额外配置1套，暂存于厂家处，需要更换时，由厂家免费为用户进行更换，质保期从更换完毕，且能够正常使用之日开始计算；(9)Pt或W沉积气体额外配置1套；(10)纳米机械手W针20根。

3. 配备3套或以上的工作站与显示屏。

此仪器用于测试固体催化剂样品的形貌、组成和三维重构

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