原子层沉积系统（JJ20230317）采购公告

招 标 正 文
 

原子层沉积系统（JJ20230317）采购公告

项目名称原子层沉积系统项目编号JJ********
公告开始日期167*****14000公告截止日期167*****00000
采购单位重庆大学付款方式预付款40%，尾款到货验收合格后支付
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求合同签订180个工作日内
预 算无
收货地址重庆大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积系统1台其他电工、电子专用生产设备
品牌嘉兴科民电子
型号TALD-150D
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求一、设备配置要求1.反应腔室一套，含1个外腔和2个内腔2.液态前驱体源系统4路3.臭氧前驱体源1路4.真空系统1套5.沉积自动控制系统1套二、设备配置及参数要求*1.反应腔室结构：独立的内外嵌套双腔结构，内腔安装在外腔内；*2.外腔：真空加热腔，对整个内腔进行加热，外层设置有水冷循环装置；内侧设有多层热反射装置；*3.内腔：可拆卸内反应腔，负责工艺执行。配有2套，可整个取下更换。压差自压合机构可使内腔腔盖与内腔腔体自动压合密封；4.内腔最大可放置直径6英寸晶圆，向下兼容；*5.反应温度：最高500℃，温度控制精度±1℃；6.加热液态前驱体源3路，配置swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃；7.常温源1路，配置swagelok快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶；8. 臭氧前驱体源1路，内置氧气源水冷式臭氧发生器系统，臭氧产量 10g/h，浓度 100mg/L9. 两路载气系统，全套swagelok管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；10.真空系统整机极限真空＜5E-3Torr，真空漏率＜5E-7 Pa·L/S;*11.配置进口机械泵，额定抽速＞25 m3/h；真空泵前级配置热阱，加热温度最高500℃，控制精度±1℃；12.进口压力传感器包含一个工艺薄膜规和一套全量程真空规；真空计前设有保护真空计的高效过滤网以及气动隔膜阀；13.控制系统采用PLC+工控机，具有可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置；14.配置冷却循环水机一台15.工艺性能要求1：在 6 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化铝，以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为合格；16.工艺性能要求2：在 6英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化锡，以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为合格；三、售后服务要求1、以上设备的交货期为合同签订之日起6个月；2、设备质保期：1年，从验收合格之日起计算质保期；3、售后服务响应要求：接到报修后，2小时内响应，24小时内可上门服务，一般问题应该在48小时内排除；
售后服务电话支持:7x8小时;质保期限:1年;响应时间:2小时;发票类型:增值税专用发票;质保金:无;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2023/02/21/20LEDLY15CEK0XC4.shtml

标签: 原子层沉积

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