清洗-光胶涂布-显影装置国际招标公告(1)-0730-234011020006/23
清洗-光胶涂布-显影装置国际招标公告(1)-0730-234011020006/23
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 清洗-光胶涂布-显影装置 | 11台 | (1)本系统是自动流水线处理系统,可以进行基板清洗、光阻材料涂布以及显影,可在短时间(节拍时间)内对阵列黄光制程进行高精度处理。(2)满足FAB需求:柱间距16.8m,柱子直径1.7m,可用层高8.5m,高架地板高度0.45m。(3)满足Sub-FAB需求:层高7m,可用高度2.5m,小柱直径0.5m,大柱直径1.5m。 | 0730-234*****0006/23 |
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