上海中世建设咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-02-28在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:本项目为多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购进行公开采购。
本次招标要求卖方提供成熟产品，有丰富的设计、生产、安装调试、用户培训经验以及提供良好的售后技术支持，用于教学研究等。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:1069-234Z********
招标项目名称:多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购	1套	一、总体配置要求：*1、设备适用于最大8英寸晶圆。*2、设备配置构成：（1）一个热原子层沉积T-ALD反应腔模块、主要沉积氧化物；（2）一个等离子增强原子层沉积PEALD反应腔模块、主要沉积氧化物和氮氧化物；（3）一个等离子增强原子层沉积PEALD反应腔模块、主要沉积氮化物和金属；（4）一个四端口的转接腔模块、带机械手；（5）一个手动预真空室、用于手动送片二、技术指标要求：（一）热原子层沉积T-ALD反应腔模块：沉积氧化铝、氧化铪、氧化锆等氧化物薄膜。1、反应腔：（1）反应腔内壁经耐腐蚀处理；内壁加热温度≥120℃；（2）样品载物台直径≥215mm，兼容8英寸及以下的晶圆和不规则碎片；最高加热温度≥400℃； （3）配置不少于4路的独立的前驱体源入口；（4）配置独立的臭氧源入口；2、真空系统： （1）配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥ 550 m3/hr；（2）反应腔本底真空≤1E-2 mbar；真空漏率≤2E-4 mbar？l/s；（3）配置薄膜电容真空计，分辨率为满量程的0.001%；（4）配置快速响应的自动节流阀，保持工艺过程中腔体内压力稳定；（5）真空管路配置冷阱Vapor trap；3、前驱体源系统：（1）配置至少4路液体/固体前体源管路及相应的300 ml前驱体罐；每路管路配置独立的阀门、ALD快速脉冲阀和温度传感器；（2）前驱体源管路种类至少为：2路带管路加热（最高200℃）的直抽管路；2路带管路加热（最高200℃）、前驱体罐加热（最高200℃）的直抽管路；（3）配置至少1路惰性气体（N2或Ar）载气管路、连接至每一路前驱体源管路；*（4）H2O管路的惰性气体（N2或Ar）载气管路须为单独一路；4、臭氧管路： （1）配置独立的臭氧管路，包括臭氧发生器、质量流量控制器MFC、气体探测器、阀门、控制机箱等。*（2）臭氧发生量：≥6 g/h；（二）等离子增强原子层沉积PEALD反应腔模块（1）：沉积氧化铝、氧化铪、氧化钛等氧化物、以及氮氧铝等氮氧化物薄膜。1、反应腔：（1）反应腔内壁经耐腐蚀处理；内壁加热温度≥120℃；（2）样品载物台（下电极）直径≥215mm，兼容8英寸及以下的晶圆和不规则碎片；最高加热温度≥400℃；（3）配置不少于4路的独立的前驱体源入口；2、真空系统： （1）配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥550 m3/hr；*（2）配置防腐蚀设计的涡轮分子泵，抽速≥340 L/s；（3）反应腔本底真空≤1E-5 mbar；真空漏率≤2E-4 mbar？l/s；（4）配置薄膜电容真空计，分辨率为满量程的0.001%；（5）配置快速响应的自动节流阀，保持工艺过程中腔体内压力稳定；（6）真空管路配置冷阱Vapor trap；3、前驱体源系统：（1）配置至少3路液体/固体前体源管路及相应的300 ml前驱体罐；每路管路配置独立的阀门、ALD快速脉冲阀和温度传感器；（2）前驱体源管路种类至少为：1路带管路加热（最高200℃）的直抽管路；1路带管路加热（最高200℃）、前驱体罐加热（最高200℃）的直抽管路；1路带管路加热（最高200℃）、前驱体罐加热（最高200℃）、并带起泡器Bubbler的起泡器管路；（3）配置至少1路惰性气体（N2或Ar）载气管路、连接至每一路前驱体源管路；（4）配置至少2路独立的气体源管路（O2，NH3）；每路气体源管路须配有质量流量计（MFC）、颗粒过滤器和气体截止阀；对有毒/腐蚀性气体管路（NH3）须配有旁路bypass。3、等离子体源系统：（1）采用真正的远程等离子体方式，等离子体不直接照射于样品、防止对样品表面的损伤（包括离子轰击、紫外辐照所造成的损伤）；（2）等离子体源的射频功率≥300 W，频率13.56MHz；（3）配有自动匹配盒，可通过固定匹配模式或者自动匹配模式稳定地起辉；*（4）配置计算机控制的自动隔离阀（等离子体快门）；（三）等离子增强原子层沉积PEALD反应腔模块（2）：沉积氮化铝、氮化钛等氮化物薄膜、铂等金属薄膜。1、反应腔：（1）反应腔内壁经耐腐蚀处理；内壁加热温度≥120℃；（2）样品载物台（下电极）直径≥215mm，兼容8英寸及以下的晶圆和不规则碎片；最高加热温度≥500℃；（3）配置不少于4路的独立的前驱体源入口；2、真空系统： （1）配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥550 m3/hr；*（2）配置防腐蚀设计的涡轮分子泵，抽速≥340 L/s；（3）反应腔本底真空≤1E-5 mbar；真空漏率≤2E-4 mbar？l/s；（4）配置薄膜电容真空计，分辨率为满量程的0.001%；（5）配置快速响应的自动节流阀，保持工艺过程中腔体内压力稳定；（6）真空管路配置冷阱Vapor trap；3、前驱体源系统：（1）配置至少3路液体/固体前体源管路及相应的300 ml前驱体罐；每路管路配置独立的阀门、ALD快速脉冲阀和温度传感器；（2）前驱体源管路种类至少为：1路带管路加热（最高200℃）的直抽管路；2路带管路加热（最高200℃）、前驱体罐加热（最高200℃）、并带起泡器Bubbler的起泡器管路；（3）配置至少1路惰性气体（N2或Ar）载气管路、连接至每一路前驱体源管路；（4）配置至少4路独立的气体源管路（O2，N2, H2, NH3）；每路气体源管路须配有质量流量计（MFC）、颗粒过滤器和气体截止阀；对有毒/腐蚀性气体管路（NH3）须配有旁路bypass。4、等离子体源系统：（1）采用真正的远程等离子体方式，等离子体不直接照射于样品、防止对样品表面的损伤（包括离子轰击、紫外辐照所造成的损伤）；（2）等离子体源的射频功率≥300 W，频率13.56MHz；（3）配有自动匹配盒，可通过固定匹配模式或者自动匹配模式稳定地起辉；*（4）配置计算机控制的自动隔离阀（等离子体快门）；（四）转接腔模块：（1）共4个端口；通过闸阀分别与3个反应腔模块、1个预真空室连接；（2）自动机械手，用于不同模块间传送样片；（3）上盖有透明观察窗口；（4）配置单独干泵和真空计，本底真空≤0.1 mbar，真空漏率≤5E-4 mbar？l/s；（五）预真空室：（1）通过闸阀与转接腔模块连接；配透明上盖；（2）用于手动传送8英寸晶圆或托盘；（3）配置单独干泵和真空计，本底真空≤0.1 mbar，真空漏率≤1E-3 mbar？l/s；（六）控制系统：系统须自动化操作，软件功能包括但不限于以下部分：权限管理、参数管理、手动控制、实时数据、数据记录、报警管理等。详见第八章 货物需求一览表及技术规格	预算金额：人民币850万元,项目编号：Z********

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人须为所投仪器设备的制造商或持有该设备制造商/中国大陆地区总代理唯一授权；
2）关境内的投标人应具有独立的法人资格，且未在投标文件递交截止时间前三年内，被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）失信被执行人、重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为记录名单；
3）关境外的投标人须提供有效的企业/商业登记证明材料；
4）境内投标人未在投标文件递交截止时间前三年内，被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）失信被执行人、重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为记录名单。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-02-28
招标文件领购结束时间:2023-03-07
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市普陀区曹杨路528弄35号中世办公楼306室
招标文件售价:￥500/$100
其他说明:2023年2月28日～2023年3月7日上午：9:00 ～ 11:00，下午：13:00 ～ 16:00（节假日除外），凡愿参加投标的合格供应商关注“中世建咨”微信公众号，主界面右下角点击“投标报名”完成微信报名登记后可在微信端领购招标文件或至现场领购。
备注：未领购招标文件的供应商不得参加投标。招标文件发售期截止后，购买招标文件的潜在投标人少于3个的，招标人可以依法重新招标。
报名须提交的下述资料:
1）供应商资格证明文件（如营业执照、法人登记证书或企业登记证明等复印件）；
2）授权委托书及被授权人身份证明文件（复印件）；
注：以上提交的资料，复印件须加盖公章。如有缺漏，招标代理机构将拒绝接受其报名。报名时提供的资料应与投标文件中的资格证明文件一致，如有不同，以投标文件为准。投标人的合格与否，将由评标委员会决定。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2023-03-22 09:00
投标文件送达地点:上海中世建设咨询有限公司（上海市普陀区曹杨路528弄35号中世办公楼3楼会议室，详见当日一楼显示器上的具体会议室）
开标地点:上海中世建设咨询有限公司（上海市普陀区曹杨路528弄35号中世办公楼3楼会议室，详见当日一楼显示器上的具体会议室）
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:同济大学
地址:上海市杨浦区四平路1239号
联系人:刘老师
联系方式:021-********
招标代理机构:上海中世建设咨询有限公司
地址:上海市普陀区曹杨路528弄35号
联系人:陈洁、葛诗诗、张琴
联系方式:021-********、********（报名/保证金咨询电话）
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):上海银行愚园路支行
招标代理机构开户银行(美元):上海银行长宁支行BANK OF SHANGHAI
账号(人民币):316*****003******
账号(美元):316*****050********
其他:SWIFT CODE：BOSHCNSHXXX
公司地址：上海市普陀区曹杨路528弄35号（NO.35,LANE 528,CAOYANG ROAD）
9、其他补充说明
其他补充说明:一、代理机构内部编号：招案2023-0658；
二、供应商微信登记报名流程： 1、步骤： 第一步：关注“中世建咨”微信公众号； 第二步：用户注册：点击主界面右下角“投标报名-用户注册”（已注册跳过此步）； 第三步：搜索项目：点击主界面右下角“投标报名-购买标书”（输入代理机构编号后四位/项目简称皆可）； 第四步：选择标书费支付方式、上传报名资料（除微信支付方式外，请同步附上付款凭证）； 第五步：提交审核：点击立即支付； 第六步：等待代理机构审核（无须电话），时间约1-2个工作日； 第七步：支付费用：审核通过后，点击主界面右下角“投标报名-我的订单”； 第八步：下载招标文件：点击主界面右下角“投标报名-我的订单”。 2、其他 1）标书费发票：默认电子发票（增值税普通发票），系统自动链接报名登记时所填写的邮箱； 2）注意：是否要发票要选择清楚 ；三、完成注册（由于机电产品交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。

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