干刻废气处理机招标公告
干刻废气处理机招标公告
中国电子进出口总公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-07-20在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:深圳市华星光电技术有限公司第8.5代TFT-LCD(含氧化物半导体及AMOLED)生产线设备采购
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-1540CSOTT205/45
招标项目名称:华星光电第8.5代TFT-LCD(含氧化物半导体及AMOLED)生产线建设项目
项目实施地点:中国广东省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-1440CSOT0005/39 | 湿法剥离机/配向膜列印机/配向膜涂布前基板清洗机 | 5台/2台/2台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD工艺中光阻剥离、配向膜的涂布、配向膜涂布前的玻璃基板清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币15000元或USD2500 |
0714-1440CSOT0005/40 | 金属湿法刻蚀机/氧化铟锡湿法刻蚀机 | 4台/ 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of 4 Mask 2W2D/COA/Cu process/IPS Etching System for pattern generation.要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币10000元或USD1700 |
0714-1440CSOT0005/41 | 化学成膜前清洗机/理成膜前清洗机 | 7台/ 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of cleaning TFT-glass before sputter。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币10000元或USD1700 |
0714-1440CSOT0005/42 | 彩膜涂胶机/阵列刻号机 | 5台/3台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Coater System for CF Process & Titler system for Array Process。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币15000元或USD2500 |
0714-1440CSOT0005/43 | 彩膜刻号机/边缘曝光机 | 2台/3台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Titler &Edge Exposure System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币15000元或USD2500 |
0714-1440CSOT0005/44 | 化学气相沉积废气处理机 | 7台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CVD process gas which burned to destruction and removal。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币1000元或USD170 |
0714-1440CSOT0005/45 | 干刻废气处理机 | 21台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of harmlessly processes the out gas of the Dry Etching。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/46 | 低温退火炉 | 2台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Anneal Oven for ITO anneal。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/47 | 彩膜温度控制机/ 玻璃基板冷却机 | 5台/ 6台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of TCU System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币3000元或USD500 |
0714-1440CSOT0005/48 | 铜酸分析仪/草酸分析仪/光阻分析仪 | 4台/1台/5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于chemical concentration measuring Copper ion and H2O2/ oxalic acid/ PR and H2O。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/49 | 彩膜预烘机 | 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF HPCP System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币3000元或USD500 |
0714-1440CSOT0005/50 | 彩膜后烘机/彩膜氧化铟锡后烘机 | 5台/ 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Oven System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币5000元或USD850 |
0714-1440CSOT0005/51 | 彩膜光学膜厚测量机 | 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Thickness System.。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币3000元或USD500 |
0714-1440CSOT0005/52 | 彩膜掩模版清洗机 | 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Mask Clean System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/53 | 玻璃拆包机 | 2台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Dense Unpack System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/54 | 框胶涂布机/液晶滴下机/真空贴合机 | 10台/4台/6台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD工艺中框胶涂布、液晶滴下和真空贴合。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币15000元或USD2500 |
0714-1440CSOT0005/55 | 湿式配向膜修复机 | 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD工艺中配向膜剥离。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/56 | 干法刻蚀机温度控制器 | 22台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于干法刻蚀机腔体内部温度控制。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
0714-1440CSOT0005/57 | 纯水系统 | 1套 | 设备用途及基本要求:本系统主要用于将由买方提供的工业用自来水,经过纯化后供应符合水质要求的超纯水给各个用水端使用。并将回收水经过回收、提升系统回收后纯化,再导回纯水系统供给水源以减少自来水的使用量。 | 招标文件售价:人民币5000元或USD850 |
0714-1440CSOT0005/60 | 阵列曝光机 | 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Exposure System for pattern generation。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:人民币2000元或USD340 |
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