新型传感试验线项目国际招标公告(2)-4197-224BOETD0001/23
新型传感试验线项目国际招标公告(2)-4197-224BOETD0001/23
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-224BOETD0001/23 | 干法释放设备 | 1台 | 设备用途及基本要求本设备主要用于【氧化硅的牺牲层释放工艺,具备系统升级的功能】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | RMB 3000 / USD 500 |
4197-224BOETD0001/24 | 干泵 | 10台 | 设备用途及基本要求本设备主要用于【半导体工业的真空泵系统,具备系统升级的功能】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | RMB 1500 / USD 250 |
4197-224BOETD0001/25 | 化学品供液系统 | 5套 | 设备用途及基本要求本设备主要用于【半导体工业的化学品供液系统,具备系统升级的功能】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | RMB 1500 / USD 250 |
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