全自动椭圆偏振光谱仪和全自动分光镜反射仪国际招标公告(2)-0730-234011020007/10
全自动椭圆偏振光谱仪和全自动分光镜反射仪国际招标公告(2)-0730-234011020007/10
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 全自动椭圆偏振光谱仪和全自动分光镜反射仪 | 2台全自动椭圆偏振光谱仪和1台全自动分光镜反射仪 | (1)本装置用于生产制程后玻璃基板上所沉积薄膜的厚度和光学常数(如折射率, 消光系数),以及其他性能的测试,以确认或改进沉积薄膜的质量(2)MTBF≥1200hours(3)MTTR≤2hours | 0730-234*****0007/10 |
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