中国石油大学(华东)磁控溅射沉积系统、慢应变应力腐蚀试验机采购招标公告中石大招标字[2015]075号为满足学校学科项目建设的需要，需进行磁控溅射沉积系统、慢应变应力腐蚀试验机的采购。采购以国内公开招标形式进行，欢迎有供货能力的专业仪器设备生产厂家或供应商、代理商前来报名投标。有意参与投标者请速与中国石油大学（华东）招标办公室联系投标报名事宜。1、招标人名称：中国石油大学（华东） 2、招标人地址：山东省青岛市经济技术开发开发区长江西路66号3、招标项目的内容，数量: 磁控溅射沉积系统、慢应变应力腐蚀，各1套磁控溅射沉积系统设备具体要求：一、用途及总体要求一线品牌，用户多，稳定性好。主要完成以下实验：（1）氧化物半导体薄膜的制备实验；（2）真空条件制备及测量；（3）金属多层膜制备；（4）射频技术制备介质薄膜；（6）共溅射技术制备纳米复合薄膜。二、技术指标1、极限真空度：≤4×10-5Pa；2、系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S；3、停泵关机12小时后真空度：≤1Pa；4、靶材数量及尺寸：不少于3个靶台，靶材尺寸为Φ60mm；5、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；6、具有电动控制挡板组件；7、靶配有屏蔽罩，避免靶材之间的交叉污染；8、至少有两个靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离具有可调性；9、基片尺寸：可放置不小于Φ30mm的基片；10、基片加热最高温度 不低于600℃，由热电偶闭环反馈控制，稳定性不超过±5℃；11、基片可连续回转，转速5～10转/分；12、基片可以加负偏压，不低于-200V；13、外部可视窗口不少于2个，可观测样品位置及对准；14、工作气路不少于3路，其中不少于两路用于工作气体控制，具有不同质量流量控制器；15、复合分子泵及变频控制电源1台，抽速不小于600升/秒；16、直联机械泵1台，抽速不小于8升/秒；17、水流报警系统，有断水报警切断相应电源功能；18、样品加热控温电源，可实现程序控温；19、宽量程数显真空计，测量范围：1.0×105Pa～1.0×10-5Pa，具有校准功能。20、200SCCM、100SCCM质量流量显示器：1套；21、射频电源功率不低于500W；22、直流电源功率不低于500W；23、水冷系统，冷却循环水，制冷量不低于5kW。慢应变应力腐蚀试验机：一、用途及总体要求一线品牌，测量精确，稳定性好。主要完成以下实验：（1）金属材料在不同介质环境下的应力腐蚀实验；（2）金属材料拉伸强度性能测定实验；（3）金属材料蠕变性能测定实验。二、技术指标1、最大试验力：50kN； 2、试验力范围：1～100%全程不分档；3、精度等级：1级，示值准确度优于1%；4、配有螺纹连接夹具（两种）、销式连接夹具有自动调心装置；5、速度精度优于±1%，变形及位移精度优于0.5%；6、慢应变速率试验拉伸速度可在10-6～1mm/min之间无级调节；7、试验拉伸空间：0～400mm，试验空间可调；8、试验控制方式：力、时间、加载速率、分步加载；9、试验环境控制温度：室温～35℃，控制精度不超过1℃。4、投标人资质要求：凡有能力提供招标设备及服务的生产商、供应商或代理商均为合格的投标人。5、交货时间: 合同签订后90日内（如无法满足，请在投标文件中注明）6、报名、购买招标文件的时间和地点：2015年7月23日-7月31日。中国石油大学（华东）招标办公室，青岛校区图文信息中心0809室7、投标的时间和地点：2015年8月4日8:30—9:00（截止时间），中国石油大学（华东）图文信息中心0921室8、开标时间：2015年8月4日9:459、招标文件售价：100元（需以现金形式交到青岛校区财务,凭“招标费用”收据领取招标文件资料）。10、投标保证金：伍仟元，(投标保证金于开标前交到财务，凭投标保证金收据参加开标会议。地点：中国石油大学（华东）青岛校区图文信息中心二楼)。招标联系人：徐老师 董老师 电子邮件：zhaobiao@upc.edu.cn联系电话： 0532—********招标监督电话：****-********中国石油大学（华东）招标办公室 2015年7月15日