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宜兴中车时代半导体有限公司芯片量测设备项目重新招标 - 国际招标公告

湖南省招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-03-
08在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1招标条件
项目概况:宜兴中车时代半导体有限公司芯片量测设备项目重新招标
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备

2招标内容
招标项目编号:0623-2340J1110035
招标项目名称:宜兴中车时代半导体有限公司芯片量测设备项目重新招标
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):

3投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:芯片量测设备:
1投标人具有所投设备的制造或销售资格，制造商近三年以投标截止时间前36个月为有效，以合
同或订单甲方签订时间或制造商出具的签字或盖章的业绩明细表等其他有效证明材料的落款时间为
准芯片量测设备业绩合计不低于100台。投标文件中必须提供合同或订单复印件或制造商出具的
其他有效证明材料，如签字或盖章的业绩明细表
2投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的制造商授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-03-08
招标文件领购结束时间:2023-03-15
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：湖南省招标有限责任公司1306室
招标文件售价:500/80
其他说明:每天上午8:30-12:00下午14:00-17:00(北京时间，节假日除外)
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 DFI缺陷检测设备 2台 该设备可用于半导体功率器件200mm有图形晶圆制造过程中的全自动缺陷检测暗场。 其他详见技术规格书。 本表中所有设备不分包。所有设备不得拆分投标。
2 SEM review 1台 该设备可用于半导体功率器件200mm有图形晶圆制造过程中的全自动缺陷观察。
3 AOI 2台 用于8英寸IGBT芯片制造过程中的全自动缺陷检测
4 颗粒仪 2台 该设备需要配置完整的传送系统和量测系统，用于晶圆表面颗粒检测。
5 膜厚仪 2台 完整的全自动膜厚测量系统，需满足下文工艺需求所要求的技术条件，该测量系统用于无损自动测量IGBT和FRD硅片上膜层多晶，氧化层，Nitride，BPSG，光刻胶等的膜层厚度折射率n消光系数k。
6 Overlay包含光刻工艺仿真软件 1台 该机台需要配置完整的传送系统和量测系统用于测量套刻精度。该设备可用于IGBT和FRD硅片的套刻精度测量。
电子信箱：hnzbbm10163.com

5投标文件的递交
投标截止时间开标时间:2023-03-30 09:30
投标文件送达地点:湖南省招标有限责任公司十二楼相应开标大厅湖南省长沙市雨花区湘府东路二
段199号招标大厦12楼
开标地点:湖南省招标有限责任公司十二楼相应开标大厅湖南省长沙市雨花区湘府东路二段199号
招标大厦12楼

6投标人在投标前应在必联网https://www.ebnew.com或机电产品招标投标电子交易平台
https://www.chinabidding.com完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公
示。

7联系方式
招标人:宜兴中车时代半导体有限公司
地址:宜兴经济技术开发区杏里路10号宜兴光电产业园1幢301室
联系人:汤婷
联系方式:15273309628
招标代理机构:湖南省招标有限责任公司
地址:长沙市湘府东路199号招标大厦
联系人:彭笛李广周婷
联系方式:0731-84530219

8汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):长沙银行东风路支行
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):800080833102020
账号(美元):
其他:开户名：湖南省招标有限责任公司
注意：请在汇款转账时在附言或备注栏内注明招标编号。

9其他补充说明
其他补充说明:投标人在投标前须在必联网http://www.ebnew.com或机电产品招标投标电子交易
平台http://www.chinabidding.com完成注册及信息核验，才可进入招标程序，网站客服咨询电
话：010-58851111转8482。









招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人：签名


招标人或其招标代理机构：盖章