采购项目

75kW微波磁控管耗材

采购项目

负责人

李成明

拟采购货物或服务的

详细说明

为满足课题任务要求，拟购置4套功率75kW、频率915MHz的微波磁控管耗材，为大面积热学与光学级金刚石材料生长提供持续稳定等离子体激发能量。微波发生器的基本要求为：磁控管输出功率75kW，915MHZ +/- 20MHz；波动率<5%，效率>90%，30天24小时不停机连续工作；磁控管寿命：≥4000小时。

单一来源

采购原因

及

相关说明

微波等离子体CVD系统是生长超高导热金刚石材料、金刚石光学窗口，满足机载、弹载与星载等领域高功率密度电子器件散热应用以及红外制导的主要手段。要想获得大尺寸超高导热金刚石材料和光学材料，就必须保证尺寸达到4英寸，厚度不小于1mm。在此情况下，在不掺杂氮的情况下CVD金刚石生长速度缓慢，通常只能实现高功率微波化学气相沉积法满足要求。项目前期已经搭建了用于大尺寸、高质量金刚石制备的75kW高功率微波化学气相沉积装置2台，已经投入到科研生产中。前期已经攻克了大功率微波化学气相沉积装置的设计、制造以及长期稳定生长工艺等。但是75kW微波发生器一直是采用国外进口，因为国外微波源提供的功率更高、输出频率也更稳定。与此同时，磁控管作为微波功率源的最为核心部件耗材，担负着产生微波的重要功能。作为一种电真空器件，其寿命通常是有限的，因此也是需要不定期更换的易耗品。

对比国内外相关厂家，国内单位生产的磁控管耗材均存在高功率下频率波动大、无法满足长时工作等问题。国外厂家,法国Sairem公司产品市场占有率较低。德国Muegge电源目前是国内用户最多的。75kW的微波电源目前国内也有几台，其工作稳定性好，寿命长，磁控管技术相对成熟。

德国Muegge磁控管耗材是目前市场唯一可以满足功率75kW，频率：915MHZ +/- 20MHz；波动率<5%，效率>90%，30天24小时不停机连续工作；磁控管寿命：≥4000小时技术指标要求的产品。

北京杰能达机电设备有限公司是德国Muegge电源的国内唯一代理商。

拟成交

供应商

名称：

北京杰能达机电设备有限公司

地址：

北京市房山区天星街1号院绿地启航社14号楼1705

公示期限

2023年2月28日 至2023年3月4日（不少于5个日历日）

招采中心

联系方式

联系地址：北京市海淀区学院路30号北京科技大学招标与采购管理中心货物与服务采购科（办公楼106室）

联 系 人：秦老师

联系电话：010-********