TFT特性检查仪国际招标公告(1)-0730-234011020006/49
TFT特性检查仪国际招标公告(1)-0730-234011020006/49
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | TFT特性检查仪 | 3套(2套单腔,1套多腔) | (1)设备主要用于配合高低温真空探针台对微纳电子器件提供直流I-V,变频C-V,准静态C-V以及脉冲电学等测试,以研究器件的各项性能。(2)SMU的电流范围:±100mA;(3)单腔的4个SMU的电流测量精度 ≤10fA; | 0730-234*****0006/49 |
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