哈尔滨工业大学机电学院高真空多功能薄膜沉积系统采购项目
哈尔滨工业大学机电学院高真空多功能薄膜沉积系统采购项目
| 公告时间： | 2015-08-04 11:14:32 | ||||||||
| 项目名称： | 哈尔滨工业大学机电学院高真空多功能薄膜沉积系统采购项目 | ||||||||
| 项目编号： | GDC-****************0 | ||||||||
| 中央国家机关政府采购中心受采购单位 哈尔滨工业大学 委托,对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上竞价。 | |||||||||
| 采购项目信息 | |||||||||
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学 | 报价截止时间： | 2015-08-10 11:14:32 | ||||||
| 联系人： | 曹老师 | 送货地点： | 哈尔滨工业大学一校区 | ||||||
| 联系电话： | ******** | 到货时间： | 采购结果公告后 50 天内到货 | ||||||
| 联系邮件： | * | 项目预算： | 395000.0(注：此预算在采购人可支付的情况下可增加金额) | ||||||
| 剩余时间： | 签约时间： | 成交公告发布后14个工作日内签署合同 | |||||||
| 资质要求 | |||||||||
| 售后服务网点： | 无具体要求 | 销售资质需求： | : | ||||||
| 专业资质需求: | |||||||||
| 踏勘需求 | |||||||||
| 踏勘地点： | 无 | 踏勘时间： | 无 | ||||||
| 联系人： | 无 | 联系电话： | 无 | ||||||
| 资质要求： | 根据《中央国家机关政府采购中心网上竞价操作规程》（国机采办【2014】10号），采购人对产品质保或售后维保有要求的，供应商应按要求上传相应的质保或售后维保承诺函。承诺函应当真实有效。 售后服务承诺函或承诺书应加盖公章并以附件形式上传。在售后服务承诺函或承诺书之外进行说明内容的不视为有效文件。 供应商在竞价时，须根据资质要求中的内容以附件形式上传相关资质证明。 | ||||||||
| 采购商品信息 | |||||||||
| 商品分类 | 参考品牌 | 规格型号 | 单位 | 数量 | 产地要求 | 维保质保要求 | 偏离表 | 技术指标 | |
| 实验室设备 | 沈阳新蓝天 | FZJ500 | 台 | 1 | 中国 | 原厂 1年 | 1、设备用途：在高真空环境下，对不同的基体材料进行电子束蒸发和磁控溅射镀膜。主要用于氧化物、陶瓷和各种高熔点金属材料的电子束蒸发和磁控溅射。2、腔室尺寸：电子束蒸发腔室：真空室尺寸Φ500×H500（mm）筒式单层真空室，在真空室壁上焊接水冷槽，通过循环水对真空室进行冷却。磁控溅射腔室：磁控溅射腔室坐在蒸发室的右边，真空室尺寸Φ450×H450（mm）筒式单层真空室，大法兰盖电动升降。3、系统真空性能指标：3.1电子束蒸发室极限真空：连续烘烤36小时（≤150℃）连续抽气其极限真空≤1.0×10-4Pa。3.2磁控溅射室极限真空：连续烘烤36小时（≤120℃）连续抽气其极限真空≤1.0×10-4Pa。3.3蒸发室抽气速率：从大气开始抽气，在≤40分钟内，真空度≤8×10-4Pa3.4溅射室抽气速率：从大气开始抽气，在≤40分钟内，真空度≤8×10-3Pa。3.5蒸发室漏率：停泵关机12小时后，测其真空度≤5Pa。3.6溅射室漏率：停泵关机12小时后，测其真空度≤5Pa。4、电子枪主要技术参数：电子枪功率6KW，电子束偏转角270?，束流在0-600mA范围内可调，四穴水冷铜坩埚，坩埚容积为20ml，深度为22mm，可电动换位，遥控盒手持操作，枪电源高压灭弧自动复位，冷却水：流量≥10L/min，水压≥0.15Mpa， 入口水温≤25℃。5、样品台：蒸发室和磁控溅射室的样品台为同一结构，具有同样功能，可放样品尺寸：100×100（mm），加热温度：室温~300℃，温度可控可调，样品与干锅之间的距离300mm±30可调，样品与磁控靶之间距离100mm±30可调；样品转动速度0~20r/min可调。6、磁控靶：2支Φ4"永磁靶，RF&DC兼容；均设置电动挡板，在暴露大气时2支靶可调整相对基片的距离和角度。7、电源：电子枪电源，样品温控电源，控制电源，照明烘烤电源，中频电源，直流电源。8、进气系统：MFC质量流量控制器：两路进气，O2:0~50sccm；Ar：0~100sccm。 | ||
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