中国石油集团工程材料研究院有限公司

CNPCTubular Goods Research Institute

蒸发镀膜机

采购项目询价公告

本单位拟采购以下物资，欢迎具有相应资质能力的供应商积极参与，现将有关采购信息说明如下：

1. 所需物资要求

技术指标要求：

1.蒸发镀膜室：镀膜室净尺寸:≥L500mm×W500mm×H650mm；SUS304不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，且可与现有手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠，门框尺寸≥W560×H698；

2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计；分子泵：抽速≥1300L/S，机械泵：抽速≥12L/S，

3.真空指标：极限真空：优于5.0×10^-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)抽速：暴露大气后，抽真空至8.0×10^-4Pa，用时≤40min；手套箱内开仓后，抽真空至8.0×10-4Pa，用时≤20min；设备升压率≤0.8Pa/h;

4.基片台：抽屉式结构，不小于210×210mm；配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；蒸发源到样品垂直蒸发距离70mm可调；需根据用户要求定制掩膜板1套；

5.基片台水冷：水冷温度：10～35℃（循环水温度）。

6.蒸镀范围≥200×200mm内膜厚不均匀性≤5%；

7.金属蒸发源：水冷铜电极4组；

金属蒸发电源：逆变式蒸发电源，功率3kW，2台。1台电源切换2组蒸发源分时蒸镀。

有机蒸发源：2组，石英坩埚容量10cc，有效容量为6cc；倾斜指向基片台，保证镀膜均匀性及有机蒸发材料使用效率；

有机蒸发源适用温度：室温～600±1℃（真空状态）；

有机蒸发电源：2套，采用每源独立PID智能温控+热电偶+加热电源闭环控温；

8.配6组气动挡板及源间防污隔板。

9.膜厚控制系统：膜厚监控仪1台，探头2支；可切换控制金属蒸发源速率，在线测量镀膜过程中膜厚变化，根据实时膜厚和镀膜速率自动调整蒸发源电源功率，保证镀膜过程接近匀速稳定；

①高亮度,彩色 LCD显示器 – 可显示英文或中文；

②标准 RS-232；

③ "快速设置”菜单，6个与功能关联的按钮,和灵便的参数设定旋钮使得参数设置和操作更简单

④Windows? 程序，可开发, 测试,和下载工艺过程,也可将仪器数据记录至您的PC 上,用于工艺分析与质量控制；

⑤ 当淀积速率很低时,在 4每秒四次采样的分辨率可达到± 0 .012 Hz,在 0至50oC温度范围内的频率稳定性可达到±2 ppm，保证精确的工艺过程控制,

⑥ 贮存容量可高至 100个工艺过程,1,000 个膜层,50个膜系

⑦ 可用单探头监测源材料,也可用多探头分布监测，可切换控制其中1组蒸发源的速率；

⑧膜厚和速率分辨率：±0.015? 速率显示：0.01?/秒。

10.控制方式：PLC+触摸屏半自动控制。

11.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。

12.冷却循环水机：功率不小于2P，制冷量不小于5.62kW，1台；

13.空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038m3)，噪音:≤68dB，1台。

2. 供应商资质要求

1、具有独立法人资格，持有效营业执照或事业单位法人证书，具有独立签订合同的权利和良好履行合同的能力。

2、财务要求：供应商须提供2021或2022年度经会计师事务所或审计机构审计的财务报告（须有注册会计师签字盖章和公司盖章，包括资产负债表、损益表、现金流量表），财务须状况良好，无资不抵债情况，具有有效履行合同资产能力。其他组织如事业单位、分支机构、新成立的公司（2023年1月1日以后成立）等响应人若不能提供本单位的财务审计报告，须提供盖公章的2022年度财务报表或近三月开具的银行资信证明等有效证明文件。

3、近3年具有同类产品的销售业绩至少一项，证明材料包括合同及对应结算发票。

3. 验收要求

1、供货周期：合同签订之日起180日内。

2、验收标准：满足本文件一、所需物资要求中的技术指标要求。

3、质量标准：满足本文件一、所需物资要求中的技术指标要求。

4、质保期：交货验收合格之日起12个月。

四、报价要求（请按以下格式进行报价）

表1报价明细表

1、本项目最高限价万元。该报价为含税报价（请详细标明增值税税率）。

2、报价表中要求供应商盖单位公章，如不是法人签字请同时附法人签字盖章的委托授权书。

3、报价单应为含税报价、包装物、到西安购买方指定地点运费的报价。

4、本次询价只允许有一个方案，一个报价，多方案、多报价的将不被接受。

5、总价包括验收合格交付使用之前及技术和售后服务等所有费用。

6、在满足我方提出的所有技术、商务条款的供应商的报价中，不含税价格最低者中标。

五、结算及付款方式

验收合格交付使用后十五个工作日内，乙方给甲方开具有效增值税专用发票，90日内甲方向乙方支付合同总价款（银行转账或商业汇票，不低于结算总额20%）。

六、报价函构成及要求

请于2023年4月7日10点前将密封好的报价文件寄（送）至本单位，报价文件须进行密封，在密封封面上写明项目名称和报价单位名称。以快递形式邮寄的报价文件须同时在快递单封面标明项目名称。未按要求密封、未按时寄（送）或缺少以下任何一项内容的报价文件，视为无效报价文件，由此引起的后果由投标人自负。

报价文件组成：

1、报价单（含报价明细表，供货周期及付款方式等内容，如不单独说明，默认为供应商响应询价函提出的所有要求）；

2、委托授权书；

3、事业单位法人证书或加载统一社会信用代码的营业执照（未办理“多证合一”的投标人提供营业执照、组织机构代码证、税务登记证）复印件等证件加盖公章；

4、提供应具备的资质能力证明材料；提供类似业绩证明材料（以对应合同及结算发票等资料复印件为准）。

七、联系方式

联系人： 刘心可

联系电话：029-******** 邮寄地址：西安市锦业二路89号

监督电话：029-******** 邮编：******

中国石油集团工程材料研究院有限公司

2023年3月31日