XJ023042400164光刻机常规维护保养计划号：20230303W009
XJ023042400164光刻机常规维护保养计划号：20230303W009
| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 备注 | 备注 | 备注 |
| 光刻机常规维护保养 | 服务类 | 3.0次 | 3.0次 | 光刻机规格：ASML PAS 5500/275 | 光刻机机械臂需要调校/光刻机需进行常规维护 | 厂家需提供技术支持服务方案 |
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