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光谱椭偏仪

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武汉颐光

SE-VE-L

1.测量能力：一次性获取Psi/Delta, NCS偏振信息以及薄膜n/k/d信息等2.光谱范围：400-1000nm（覆盖可见光到近红外波段），无光纤外接设计3.光谱分辨率：＜0.4nm@400-1000nm，CCD探测器光谱采集波长间隔4.测量偏振参数：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，360度无死角5.单点测量时间：不超过12s (可设置)6.光斑尺寸：1-4mm（椭圆光斑短轴直径）7.可视化调平系统：支持样件台可视化辅助对准调平8.调制技术：旋转补偿器PCrSA调制技术9.样品台：支持0-10mm，Z向找焦，俯仰可调，支持样件尺寸到Ф200mm10.膜厚重复性测量精度：优于0.005nm （100nm SiO2硅片，30次重复测量）11.折射率重复精度：0.0005（n@632.8nm，100nmSiO2硅片，30次重复测量）12.分析软件：必须支持周期性纳米光栅结构样件数据建模分析，多达数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；具备折射率梯度分布Grade建模，光学各向异性Anisotropic建模仿真与分析功能，支持至少5个授权软件许可13.测控分析电脑： CPU：≥双核心处理器；RAM：8G；ROM：1T；显示器：19寸，；windows操作系统

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