哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所多功能腐蚀清洗机采购项目

哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所多功能腐蚀清洗机采购项目

技术指标详情:

公告时间:2015-09-23 10:23:09
项目名称:哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所多功能腐蚀清洗机采购项目
项目编号:GDC-****************5
中央国家机关政府采购中心受采购单位 哈尔滨工业大学 委托,对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上竞价。
采购项目信息
采购单位:哈尔滨工业大学报价截止时间:2015-09-28 10:23:09
联系人:金老师送货地点:哈工大科学园
联系电话:********-***到货时间:采购结果公告后 50 天内到货
联系邮件:*项目预算:310000.0(注:此预算在采购人可支付的情况下可增加金额)
剩余时间:签约时间:成交公告发布后10个工作日内签署合同
资质要求
售后服务网点: 无具体要求销售资质需求: :
专业资质需求:
踏勘需求
踏勘地点:踏勘时间:
联系人:联系电话:
资质要求:根据《中央国家机关政府采购中心网上竞价操作规程》(国机采办【2014】10号),采购人对产品质保或售后维保有要求的,供应商应按要求上传相应的质保或售后维保承诺函。承诺函应当真实有效。 售后服务承诺函或承诺书应加盖公章并以附件形式上传。在售后服务承诺函或承诺书之外进行说明内容的不视为有效文件。
供应商在竞价时,须根据资质要求中的内容以附件形式上传相关资质证明。
采购商品信息
商品分类参考品牌规格型号单位数量 产地要求维保质保要求偏离表技术指标
实验室设备**1中国供应商 1年 1.竞标设备必须具有完成4″硅晶圆的涂胶、显影、前烘及腐蚀清洗的功能;2.匀胶腔腔体材料要求:不锈钢304;3.匀胶转速:0—5,000rpm,最小调整量:1rpm;4.匀胶转速精度:±1rpm (50-5000rpm);5.匀胶加速度:100—20,000 rpm/sec;6.显影腔腔体材料要求:进口PP;7.显影转速:0—5,000rpm,最小调整量:1rpm;8.显影转速精度:±1rpm (50-5000rpm) ;9.热板表面材料要求:铝制硬质阳极氧化 ;10.温度范围: 50~250℃最小调整量 :1℃;11.加热超声槽温度控制范围:室温--80℃±2℃;12.设备顶部必须安装FFU层流罩,净化级别:千级环境内达到100级;13.具有石英加热槽,温度范围:室温—120℃±2℃;14.具有QDR快排清洗槽,排放时间≤4秒;15.设备至少具备七个工位,分别为匀胶单元、显影单元、热板单元、酸腐蚀清洗工位、有机清洗工位及2个冲洗工位;16.设备采用的电器、气动、传动等主要元器件必须采用国际著名品牌;17.设备至少具备一个酸腐蚀清洗槽和一个有机清洗槽,并通过专用管道排放;18.设备的电气控制要求采用PLC控制器加触摸屏的方式;19.设备的软件系统必须具有3级加密进入权限设置,不可混用权限;20.设备必须具备氮气、压缩空气压力报警功能,漏电断路保护及过载过温保护;21.设备必须具备可调节排风系统,并在排风道的底部设有排液处理;22.提供不少于12个月的设备质量保证;23.提供设备终身售后服务和技术支持;24.售后服务响应快,接到报告后4小时内提供电话解决方案。如果需要,技术工程师在48小时内达到用户工作现场。一般问题应在2个工作日内解决,重大问题应在1周内解决或提出明确解决方案;25.要求生产企业具有ISO09001质量管理体系认证资格;26.要求生产企业销售业绩良好,该类设备或类似设备销售量不少于600台;27.要求生产企业具有研发、加工生产实力并提供相关资质;28.要求生产企业提供近3年类似项目案例5个以上,并提供相关证明材料;29.付款要求:签署合同后付款50%,货到付款40%,一年后付余款10%。
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联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 光电 清洗

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