化学气相沉积尾气处理设备国际招标公告(2)-0730-234011020006/78
化学气相沉积尾气处理设备国际招标公告(2)-0730-234011020006/78
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 化学气相沉积尾气处理设备 | 84台 | (1)尾气处理设备用于化学气相沉积设备的反应物和反应物后生成物的处理,如:SiH4, N2O, NH3, NF3, PH3, H2等气体处理。 (2)稼动率:≥99%。 (3)平均故障间隔时间:≥4380H。 | 0730-234*****0006/78 |
标签: 理设备国际
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