多源共蒸发镀膜机招标公告
多源共蒸发镀膜机招标公告
四川大学“多源共蒸发镀膜机”采购公告
根据《中华人民共和国招标投标法》等有关法律、法规的规定,本招标项目有关设备(下称招标设备)已具备招标条件,向社会进行公开招标。现就相关情况做如下公告。
1 | 多源共蒸发镀膜机 | 台 | 1 | 1、真空腔室尺寸不小于不小于Φ600mm×H600mm 2、配置中科科仪复合分子泵,抽速不小于1200L/Sec; 3、配置ULVAC直连机械泵,抽速不小于8L/Sec 4、极限真空度:≤5×10-5Pa。 5、系统漏率:优于1×10-7Pa?L/s 6、蒸发电源功率不小于3kW 7、配置美国Inficon石英晶振膜厚监控至少一套。 8、使用红外线加热器;工件实际温度不低于500℃;工件表面温度均匀性≤±1%@Φ120mm 9、镀膜厚度不均匀性:≤±5%(Φ100mm范围内) |
招标人: | 四川大学 | 地址: | 成都市一环路南一段二十四号 |
联系人: | 黄老师 曾老师 | 邮编: | 610065 |
电话: | ***-******** | 传真: | ***-******** |
邮箱: | sculab@126.com |
户 名: | 四川大学 |
开 户 银行: | 建行成都川大支行 |
账 号: | ****************8666 |
四川大学实验室及设备管理处
2015-09-21 17:24:05
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