北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目
北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目
招标公告
天恒招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-06-01在中国国际招标网发布公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
项目概况：本项目包含七个标包。建设地点为北京。
资金到位或资金来源落实情况：本项目资金已落实。
项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件。
招标项目编号：1495-234thhrlab04
招标项目名称：北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目
项目实施地点：中国北京市
招标产品列表（主要设备）：
| 分标编号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1495-234thhrlab04/01 | 四探针电阻测试仪 | 2台 | 四探针电阻测试仪是一种半导体检测设备，具体规格如下： （1）四探针电阻测试仪1台，用于晶圆掺杂工艺后方块电阻检测； （2）四探针电阻测试仪1台，用于晶圆金属工艺后方块电阻检测； （3）测量准确性：≤±1%； （4）方阻测量范围：1mΩ/sq ~ 0.8MΩ/sq； （5）适用于6、8英寸晶圆。 | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
| 1495-234thhrlab04/02 | 傅里叶红外测试仪设备 | 1台 | 傅里叶红外测试仪是一种半导体芯片过程检测设备，具体规格如下： 1）傅里叶红外测试仪1台，用于测量硅片上掺杂N/P的外延层厚度，要求测试外延层厚度范围1~50μm； | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
| 1495-234thhrlab04/03 | 台阶仪设备 | 2台 | 台阶仪是一种半导体芯片过程检测设备，具体规格如下： 1）台阶仪1台，用于金属前道工艺量测硅片表面介质膜干法刻蚀的台阶，重复性≤0.45埃； 2）台阶仪1台，用于金属后道工艺量测硅片表面介质膜湿法腐蚀的台阶，重复性≤0.45埃。 | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
| 1495-234thhrlab04/04 | 椭偏仪设备 | 1台 | 椭偏仪是一种半导体芯片过程检测设备，具体规格如下： 1）椭偏仪1台，用于测量硅片表面上沉积的介质膜的厚度和折射率，波长范围不小于240nm~1700nm； | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
| 1495-234thhrlab04/05 | 薄膜应力计设备 | 1台 | 薄膜应力计是一种半导体芯片过程检测设备，具体规格如下： 1）薄膜应力计1台，用于检测半导体晶圆在薄膜工艺前后的应力变化，应力范围:1MPa~4GPa； | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
| 1495-234thhrlab04/06 | X射线荧光光谱仪设备 | 1台 | X射线荧光光谱仪(XRF)是一种半导体检测设备，具体规格如下： 1）用于硅片表面金属厚度检测，具备对多种金属材料如Al、Ni、Ti、Ag等及其合金的膜厚进行非破坏性测试功能； 2）Al元素测试限：0.01~15μm； 3）Au元素测试限：0.005~10μm； 4）Ag元素测试限：0.005~4μm； 5）测厚精度：RSD＜5%； 6）X射线光斑尺寸：≤35μm； 7）适用于6、8英寸晶圆。 | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
| 1495-234thhrlab04/07 | 等离子体质谱仪设备 | 1台 | 等离子体质谱仪是一种半导体芯片过程检测设备，具体规格如下： 1）等离子体质谱仪1台，用于自动收集和检测晶圆表面金属离子沾污浓度，要求作业效率≥4片/时，短期稳定性≤3%； | 注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位进行投标。 |
投标人应具备的资格或业绩：
（1）如果投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应提供制造厂商的正式授权函；不接受代表处、办事处、分公司等不具备独立承担民事责任能力单位的授权。同一制造商对同一品牌的货物只能委托一个代理商投标，制造商和其委托的代理商不允许同时参加投标。（授权函格式见《机电产品采购国际竞争性招标文件》（第一册））；
（2）境内投标人需提供工商营业执照副本（复印件加盖公章）；境外投标人需提供所在地登记证明材料（复印件加盖公章），投标人无印章的，提交由单位负责人签字的所在地登记证明材料；
（3）法人授权书及被授权人身份证明；
（4）包1：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
包2：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
包3：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
包4：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
包5：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
包6：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
包7：截至投标截止日2年内，投标人具有不少于2台套已交付验收的同类产品销售业绩，需提供合同关键页，发票复印件和用户验收证明并签字或加盖投标人公章；
（5）是否接受代理商投标：接受。
是否接受联合体投标：不接受。
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。
招标文件领购开始时间：2023-06-01
招标文件领购结束时间：2023-06-08
获取招标文件方式：现场领购
招标文件领购地点：天恒招标有限公司（北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922）
招标文件售价：￥800/包或$120/包
其他说明：有意参加投标者如无法现场报名，请于2023-06-01至2023-06-08，每日9：00时至17：00时(北京时间，下同)，将可编辑excel版及加盖公章扫描件“附件1 招标文件获取登记表”及标书汇款底单一同发送至ywb03@thtc.com.cn邮箱，邮件主题为投标人“公司全称+招标编号”，招标代理机构收到后将电子版招标文件发至《招标文件获取登记表》所填写E-mail中。招标文件售后不退。
投标截止时间（开标时间）：2023-06-30，09:30
投标文件送达地点：天恒招标有限公司会议室（北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922）
开标地点：天恒招标有限公司会议室（北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922）
招标人：北京怀柔实验室
地址：北京市怀柔区杨雁东一路8号院
联系人：冯起
联系方式：86(010)********
招标代理机构：天恒招标有限公司
地址：北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922
联系人：靳鑫、朱西西、陈洁、刘戈、杨洋
联系方式：电话86(010)********；电子邮箱ywb03@thtc.com.cn
8. 汇款方式：
招标代理机构开户银行（人民币）：兴业银行北京西城支行
帐号（人民币）：321*****010*******
9.其他补充说明：
发布公告的媒体：中国国际招标网；
招标代理机构：天恒招标有限公司；
招标代理机构地址：北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922。
标签: 第四批科研设
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