山东省鲁成招标有限公司受山东大学 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学高温高能离子注入机采购单一来源采购公示进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：山东大学高温高能离子注入机采购单一来源采购公示

项目编号：SDDX-SDLC-DYLY-*******

项目联系方式：

项目联系人：王青东

项目联系电话：151*****317

采购单位联系方式：

采购单位：山东大学

采购单位地址：山东大学中心校区明德楼

采购单位联系方式：0531-********

代理机构联系方式：

代理机构：山东省鲁成招标有限公司

代理机构联系人：王青东0531-********

代理机构地址： 济南市经十东路*****号成城大厦A座

一、采购项目内容

一）、项目信息

采购人：山东大学

项目名称：山东大学高温高能离子注入机采购

拟采购的货物或服务的说明：离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，可改变半导体的载流子浓度和导电类型，且在注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制。该离子注入设备可实现N、P、Al、B等元素掺杂，注入剂量范围1E11～1E16 ions/cm²，注入不均匀性片内≤±0.5%/片间≤±0.5%，单电荷最高加速电压为400 KeV，束流发散角度≤1.7°（@6英寸）。

拟采购的货物或服务的预算金额：2200万元

采用单一来源采购方式的原因及说明：需离子注入设备提供单价离子加速电压10-400 keV，二价离子可达800 keV 三价离子可达1.2 MeV。最大束流：≥1300 eμA@400 Kev，束流平行度≤±0.3°（@ 6″），注入剂量1E11～1E16 ions/cm²；测试精度：≦±1.0%；注入不均匀性：片内≤±0.5%，片间≤±0.5%。具备成熟的反转静电吸附Stage设计，同一设备可兼具对应高温500℃以上注入工艺和常温注入工艺，工艺切换时间不得大于5分钟；提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制，可得到约10°的大的扫描角的离子注入装置。其他品牌产品不能同时满足单价离子加速电压最高400keV、高低温工艺切换时间不得大于5分钟、10°扫描角的使用技术要求，因此只能采购进口产品。

二）、拟定供应商信息

名称：苏州科锐芯机电科技有限公司

地址：苏州吴中经济开发区城南街道东吴南路125号3幢1208室

三）、公示期限

2023年6月11日至2023年6月16日（公示期限不得少于5个工作日）

四）、其他补充事宜：无

五）、联系方式

1.采购人：山东大学

联 系 人：田主任

联系地址：山东大学中心校区明德楼

联系电话：0531-********

2.采购代理机构：山东省鲁成招标有限公司

联 系 人：　王青东　

联系地址：济南市经十东路*****号成城大厦A座

联系电话：0531-********

二、开标时间：

三、其它补充事宜

无

四、预算金额：

预算金额：2200.******0 万元（人民币）