一、询价采购编号：X*******

二、询价人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：罗老师　　　　　　电话：0512-********，********

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：杨老师　　　　电话：177*****205

三、采购服务内容及要求

等离子体增强原子层沉淀系统改造

苏州大学能源学院现有一套等离子体增强原子层沉淀系统，该系统原有四路前驱体接口，薄膜沉积工艺时间较长，且沉积薄膜背面绕镀较大，不能满足科研要求，需进行改造。设备改造后满足如下要求：

1. 配备6 路前驱体源管路，包含2 路常温源适用于饱和蒸汽压较高的源，4 路可加热源适用于需要加热的固态或液态源。每路前驱体源配备 1 套源瓶系统和 2 个进口阀门；其中可加热源管路配备的进口阀门为耐高温阀门，最高耐温 150℃。源瓶系统将配备 1 个具备耐高温手动阀（最高耐温 150℃）、且经过电解抛光处理且体积为 250mL 的不锈钢源瓶。

2. 6英寸（?150mm）单晶硅片放置于干净平整8 英寸（?200mm）单晶硅片表面运行Al2O3工艺绕镀范围<5mm。

3. 真空泵抽气管升级为KF40，真空泵抽速大于65m3/h。气路优化，增加三通阀，利于快速工艺。

4. 工艺前驱体/反应物吹扫时间缩短至10s以内。

5. 真空腔体的上方具备独立反应气扩散装置，该装置具备加热功能。

6. 腔体翻盖设计，增加内衬，便于设备维护。

7. 质保期不少于1年。

四、询价采购文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。

五、报价截止时间：2023年7月3日14：00。

六、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《苏州大学网上询价采购仪器设备报价须知》，在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。

七、报价文件递交：顺丰快递邮寄（请充分考虑快递送达时间，避免错过时间）。

附件：标书费缴纳说明.pdf

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询价采购编号：X*******

成交供应商：