采购项目名称：磁控溅射靶枪及配套电源
采购单位：北京市海淀区双清路30号清华大学集成电路学院
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后180个工作日内
交货地址：北京市海淀区双清路30号清华大学集成电路学院
技术参数及配置要求：1 靶枪部件 1.1 配备4个2英寸的磁控溅射靶枪； ▲1.2 靶材采用磁吸式固定，且靶枪冷却水和磁铁不直接接触； ▲1.3 靶枪具有倾斜功能，最大45°，可不破真空实时程序自动调节靶头与基片之间的溅射角度； 1.4 靶枪倾斜由电机控制，精度0.1°，最大程度保持实验可重复性和可控性； ▲1.5 倾斜功能集成到客户现有设备软件中，可实现靶枪对基片的自动聚焦； 1.6 每个靶枪配有气动挡板，软件控制，且挡板可适应靶枪的不同倾角。 2 靶枪电源 2.1 配备1套直流电源，德国ADL GS 05/800，功率500W，电压800V，电流0.9A； 2.2 配备1套射频电源，美国SEREN R301MKII，功率300 W，频率13.56 MHz，最小脉宽50μs；带ATS3型自动匹配器； 2.3 配有1套电源切换器； 2.4 电源控制集成到客户现有设备软件中； 3 提供上门安装调试，以及培训服务 4 提供2年质保
质保期：24个月
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