高真空磁控溅射系统
高真空磁控溅射系统
| 项目编号 | BA********* | 项目名称 | 高真空磁控溅射系统 |
|---|---|---|---|
| 经办人单位 | 化学学院 | 经办人 | 董庆锋 |
| 预算金额 | ******.00 人民币 | 成交金额 | ******.00 人民币 |
| 成交供应商 | 沈阳天德创新科技有限公司 | 质保期 | 12 月 |
| 联系地址 | 辽宁省-沈阳市-沈北新区蒲河大道888号西十一区5号(5号)1楼34室 | 采购单位 | 吉林大学化学学院 |
| 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
| 供应商联系手机 | 134*****559 | 交货时间 | 成交单签订后30天内交货 |
| 交货地址 | 吉林省-长春市-前进大街2699号吉林大学南区唐敖庆楼A220 | ||
| 交货方式 | 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 包装及运费 | 由乙方免费提供及承担 | ||
| 验收方式 | 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 售后服务要求 | 1.质保期：12月 2.售后服务提供商：沈阳天德创新科技有限公司 3.售后服务机构情况： 规模（技术人员人数）：5人 联系人： 王敬武 联系电话：134*****559 服务机构地点：沈阳市沈北新区蒲河大道888号西十五号(5号) 4.服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：2小时 排除故障时间：48小时 5.培训方案： 培训次数：1次 培训人员数量：5人 培训地点：吉林大学 费用：免费 6.本产品专用试剂的优惠供给计划：无 其它服务承诺： 无 | ||
| 采购材料 | 自主备案.pdf | ||
| 采购品目 | 其他分析仪器 | 品牌名称 | 天德创新科技 |
|---|---|---|---|
| 名称 | 高真空磁控溅射系统 | 产地及生产商 | 中国-沈阳天德创新科技有限公司 |
| 规格型号 | TD-CK350 | 数量 | 1 |
| 计量单位 | 个 | 保修年限 | 1 年 |
| 单价 | ******.00 人民币 | 总价 | ******.00 人民币 |
| 主要技术参数 | 技术指标 该系统为单室结构，主要由溅射真空室、磁控溅射靶、旋转加热基片台、加热系统、直流电源、射频电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、介质膜等的制备。 二、系统的主要组成及技术指标 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa(经烘烤除气后)；（洁净真空环境） 系统从大气开始抽气： 溅射室25分钟可达到6.6x10-4 Pa；（抽速快，缩短实验准备时间） 系统停泵关机12小时后真空度：≤10Pa； 1、溅射真空室 真空室为圆筒形前开门结构，尺寸Ф350mmx400mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光国内首家钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；手动前开门结构（放样品和换靶方便）；靶安装在下底盘，基片转台在上盖板（也可以安装为靶在上、基片台在下的结构方式）。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 、 Dg100 法兰接口：1 个（观察窗口）； 、 Dg16 法兰接口：5 个（进气阀、放气阀、热偶规管，电极引线，备用 1 个）； 、 Dg35 法兰接口：5 个(电离规管、旁抽阀、外照明、备用 2 个)； 、 Dg150 法兰接口：1 个（接分子泵）； 、磁控溅射系统：2套 、靶材尺寸：2英寸； 、提供靶材：不锈钢、铝、各一块（仅供测试靶材用）； 、永磁靶，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷； 、每个靶都配备气动控制挡板组件 1 套； 、靶在下，向上溅射，具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能； 、暴露大气下，磁控靶可手动调节共溅射角度； 、500w全自动调谐射频电源（北京吉兆源，其余国产电源做不好氧化物），1台 、磁控靶与基片的距离手动可调，调节距离为：90~130mm。 、旋转加热基片台 、基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品； 、基片通过特殊设计样品台卡住样品两侧，使样品公转，保持镀膜均匀性。 、基片自转速度连续可调； 、气动控制样品挡板组件 1套； 、窗口及法兰接口部件 、Dg100玻璃窗口：1块，带衬玻璃；Dg35外照明玻璃窗口：1块，带衬玻璃； 、Dg16陶瓷封接引线法兰：1个（内烘烤引线）； 、盲法兰：Dg16：1个；Dg35：2个。 2、工作气路 、100SCCM（氩气）、20SCCM（氧气）质量流量控制器（七星华创高精度）、Dg16截止阀、管路、接头等共2路；经过混气室，由Dg16进气阀往真空室内充入工作气体。 、Dg16放气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）； 3、抽气机组及阀门、管道（此配置抽速快、真空度高） 、分子泵及变频控制电源（600L/S）：1台； 、旋片真空泵（8L/S）：1台； 、电动插板阀CF150：1台（用于复合分子泵与真空室隔离）； 、旁抽角阀DN40：1台； 、高真空挡板阀DN40：1台； 、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套； 、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 4、安装机台架组件 优质铝型材拼装成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮，可固定，可移动。 5、真空测量：采用数显真空计进行测量，测量范围：1x105Pa-1x10-8Pa. 6、系统采用PLC+触摸屏点动控制方式。控制真空启动，扳阀开启角度。挡板开关。 | ||
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