项目名称 磁控溅射镀膜机 项目编号 XF-WSBX-*******
公告开始日期 2023-07-10 10:34:07 公告截止日期 2023-07-17 12:00:00
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后3个工作日内 到货时间要求 成交后3个工作日内
预算总价 ￥ 320,000.00
收货地址 紫金港校区和同苑9幢518
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
磁控溅射镀膜机 1 台 玻璃及玻璃制品制造设备
预算单价 ￥ 320,000.00
技术参数及配置要求 1、真空腔体：Ф500×H420mm，304优质不锈钢制造；
2、真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1200L/S；
3、真空极限：6.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；
4、基片台： Ф150mm材质不锈钢范围内可装卡各种规格基片；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温；
5、配置3支3英寸永磁共焦磁控溅射靶（溅射靶角度、高度可调）；
6、磁控溅射电源：配备中频电源：1000W，2台；直流脉冲溅射电源：1000W，2台；1套直流脉冲偏压电源：直流脉冲溅射电源 1000W，数字式直流电源数显可调控；
7、配有质量流量控制器三路，供Ar、N2、O2气体使用；
8、配备有循环水冷机和空气压缩机；
9、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；
10、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。
11、设备配备有独立机架及电控柜；
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:2年;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;
浙江大学

2023-07-10 10:34:07

项目名称 磁控溅射镀膜机 项目编号 XF-WSBX-*******
公告开始日期 2023-07-10 10:34:07 公告截止日期 2023-07-17 12:00:00
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后3个工作日内 到货时间要求 成交后3个工作日内
预算总价 ￥ 320,000.00
收货地址 紫金港校区和同苑9幢518
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
磁控溅射镀膜机 1 台 玻璃及玻璃制品制造设备
预算单价 ￥ 320,000.00
技术参数及配置要求 1、真空腔体：Ф500×H420mm，304优质不锈钢制造；
2、真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1200L/S；
3、真空极限：6.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；
4、基片台： Ф150mm材质不锈钢范围内可装卡各种规格基片；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温；
5、配置3支3英寸永磁共焦磁控溅射靶（溅射靶角度、高度可调）；
6、磁控溅射电源：配备中频电源：1000W，2台；直流脉冲溅射电源：1000W，2台；1套直流脉冲偏压电源：直流脉冲溅射电源 1000W，数字式直流电源数显可调控；
7、配有质量流量控制器三路，供Ar、N2、O2气体使用；
8、配备有循环水冷机和空气压缩机；
9、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；
10、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。
11、设备配备有独立机架及电控柜；
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:2年;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;
浙江大学

2023-07-10 10:34:07