无掩膜纳米激光直写光刻机招标公告

招 标 正 文
 

无掩膜纳米激光直写光刻机招标公告



无掩膜纳米激光直写光刻机（XF-WSBX-*******）采购公告
项目名称无掩膜纳米激光直写光刻机项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期2023-07-25 18:49:34公告截止日期2023-08-01 20:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7个工作日内到货时间要求成交后180个工作日内
预算总价￥318,000.00
收货地址浙江大学玉泉校区教三107
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件





采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
无掩膜纳米激光直写光刻机1台其他光学仪器

型号Nanolitho-MINI
预算单价￥318,000.00
技术参数及配置要求★1.1、基于振镜的无掩模光刻机
★1.2、曝光波长: 405nm
★1.3、包含2个物镜(2.5X/10X)
2.5X镜头：写入区域4.2mm×4.2mm FOV；线宽6μm;
10X镜头：写入区域1.06mm×0.59mm FOV；线宽1.5μm;
1.5、最大曝光区域70 mm × 70 mm
★1.6、写入速度1000mm/s（10×物镜）5000mm/s（2.5×物镜）
1.7、套刻精度：≤2μm
★1.8、线宽低至1.5μm（10X物镜）
1.10、兼容AZ,AR系列光刻胶等
1.11、最大可兼容4 inch基底。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2023-07-25 18:49:34





联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 激光直写 光刻机 纳米

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