基本信息：
申购单主题： 电子束蒸发设备（物理 王老师）
申购单类型： 竞价类
设备类别： 仪器仪表
使用币种： 人民币
竞价开始时间： 2015-11-17 14:08
竞价结束时间： 2015-11-19 10:00
申购备注：

申购设备详情：

设备名称 数量 单位 品牌厂商 型号 是否标配 售后服务 规格配置 附件
电子束蒸发设备（物理 王老师） 1 * 1、溅射镀膜腔体：直径550mm侧开门腔体，底板抽气法兰及预留口，底部3个溅射源法兰接口、侧壁5个溅射源接口，均采用CF100标准法兰，观察窗、上盖及与刻蚀室连接过度法兰（CF150）各一套；2、升降样品架：空心水冷磁流体密封一套，波纹管升降，电动控制用电机及控制器一套，样品台一套；3、刻蚀腔体：300*300*300上下刻蚀腔体，全铝加工，含观察窗及水、电接口法兰各一套；4、刻蚀腔体内组件：放电平台一套，进气组件一套（含管道、阀门和接头）。 是 * 无