晶圆除气炉招标公告

招 标 正 文
 

晶圆除气炉招标公告

一、项目概况
（一）项目编号：********
（二）项目名称：晶圆除气炉
（三）项目内容及需求：
1、数量：1台
2、交期：90天
3、技术要求：
3.1设备性能参数要求：
设备温度最高需达到300℃以上，常用温度200℃，升温速率》4℃/min，稳定时至少能够连续工作48小时（高真空，200℃），且工作区域温度均匀性±5℃以内，温度波动±2℃以内。
3.2产能要求：
腔室内部可一次性除气至少50片8寸晶圆，片与片之间尺寸需大于5min，室温抽真空至8*10-2Pa不超过6min，室温加热至180℃不超过1小时。
3.3设备功能要求：
设备、夹具、与晶圆接触部位为石英件需要具有防静电设计，腔体内部不会产生额外的异物或油渍，要求工艺过程完成后晶圆上颗粒物增量小于30个（0.2um），大颗粒小于10个（1um）。
3.4其他：
设备操作方便，真空、控温、充气等实现自动化控制；具有超温报警灯预防危险控制功能，并具备声光报警功能；设备及配套设施必须满足百级洁净间工作环境，禁止在维修及维护时产生额外粉尘和油污。
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。：
（二）特定资格要求：
1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
2、本次招标不接受联合体投标
三、供应商资料递交截止时间和地点
（一）截止时间：2023-8-1317:30
（二）地点：武汉市东湖技术开发区黄龙山南路6号
四、联系事项
商务联系人：刘奇涛电话：027-********
技术联系人：马隽 电话：176*****276
五、监督电话：
审计监察部：027-********

武汉高芯科技有限公司
2023年8月7日

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 晶圆

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