燕东科技12吋匀胶显影设备采购国际招标公告1
燕东科技12吋匀胶显影设备采购国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 燕东科技12吋匀胶显影设备采购 | 1 批 | 抗反射层涂胶机 2台 该设备主要用于BARC匀胶工艺 KrF涂胶显影机 2台 该设备主要用于配合KrF光刻机完成匀胶和显影工艺 I-Line涂胶显影机 4台 该设备主要用于配合I-Line光刻机完成匀胶和显影工艺 刷片清洗机 1台 该设备主要用于硅片刷洗工艺 | 招标编号:0610-2340IH****** |
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