一、项目名称：低温扫描探针显微镜&X射线光电子能谱互联系统

二、招标编号：S*******

三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-********，********

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：闫老师　　　　电话：0512-********，186*****696

电子邮箱：lhyan@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

低温扫描探针显微镜&X射线光电子能谱互联系统　　1套

（一）主要技术参数及配置要求

1低温扫描探针显微镜腔

1.1隧穿电流范围：2pA～10nA；

1.2工作温度范围：5 K～50 K；

1.3高频滤波器；

1.4最高烘烤温度不低于120℃，烘烤后真空度优于 3×10-10mbar；

1.5离子泵（抽速>300 L/s），钛升华泵，离子规等；

1.6室温存储台可存储10个针尖和15个样品；

1.7液氦杜瓦存储台，温度<70 k；

1.8 CCD摄像头，实现针尖进样的原位观察；

1.9样品及针尖粗定位马达，样品粗定位范围：X/Y：4mm×4mm，二维独立；针尖粗定位范围；Z=10 mm；样品与针尖均可独立运动；

1.10可兼容样品尺寸：10mm×10mm(旗形样品台)；

1.11低温恒温器持续时间：液氮低温恒温器>80 h；液氦低温恒温器>200 h；

1.12变温：扫描头配置加热模块，可在5K～50K范围内变温；

1.13包含不少于10个预固定W针尖，包含针尖载器；一个针尖更换专用样品架；30个针尖载器；

1.14更换针尖时，样品可以保留在扫描台上，以便使用不同针尖研究同一样品；

1.15包含弹簧悬挂阻尼系统，以隔绝振动噪音；

1.16室温下

1.16.1STM 模式下分辨率：可在Au(111)样品上获得得到原子分辨率图像；

1.16.2扫描范围X/Y/Z：10μm×10μm×1.5μm；

1.17液氮温度下

1.17.1样品温度≤78 K（标准样品台）；

1.17.2 STM 模式下分辨率：可在Au(111)下得到原子分辨率图像；

1.17.3扫描范围X/Y/Z：4μm×4μm×0.4μm；

1.18液氦温度下

1.18.1 STM 模式下工作温度：样品温度≤5K (±0.25K)（标准样品台）；

1.18.2 STM 模式下分辨率：可在Au(111) 样品上获得原子分辨率图像；

1.18.3 扫描范围X/Y/Z （5 K）不小于：1.8μm×1.8μm×0.2μm。

1.19 AFM模块

1.19.1使用QPlus-AFM技术；

1.19.2QPlus-AFM模式下工作温度：样品温度≤5K；

1.19.3 QPlus-AFM模式下分辨率：单晶NaCl样品上获得原子分辨率图像；

1.20知名品牌空气减震腿，数量不少于3个，气动驱动，可通过控制系统集成控制。

2超高真空样品制备腔

2.1配备蒸发源、LEED、氩离子刻蚀枪、石英晶振微天平等接口；

2.2配置分子泵（抽速不小于260 L/s）、离子泵（300 L/s）和钛升华泵，配置真空离子规，分子泵与腔体之间配备气动插板阀；

2.3配置4轴样品操纵台，可对样品进行热辐射加热、（液氮或氮气循环）冷却、测温等操作，温度控制符合实验要求（160 k～1100k）；

2.4配备离子溅射枪、漏阀及控制器：离子束能量范围涵盖120eV～5000eV，刻蚀束斑大小：3mm～20mm；

2.5配置快速进样腔，采用不锈钢材质，配备旁抽气路，实现样品/针尖的快速进样；

2.6全套烘烤系统，可程序控制完成系统烘烤；

2.7烘烤后真空度优于3×10-10 mbar。

3 X射线光电子能谱腔

3.1腔室采用Mu金属材质，以实现地磁场屏蔽；

3.2腔体根据用户需求配备法兰口，以配置观察窗、单色化X射线源、双阳极X射线源、电子能量分析器、紫外氦灯、电子中和枪、蒸发源等；

3.3预留DN100CF法兰口，以安装质谱；

3.4配置机械泵（抽速不小于6m3/h），分子泵（抽速不小于260L/s），钛升华泵，烘烤后真空度优于5×10-10 mbar；

3.5高分辨电子能量分析器

3.5.1平均半径≥124 mm；

3.5.2探测器阳极数目：128；

3.5.3空间分辨范围：60um～10mm；

3.5.4通过能： 5eV～200eV；

3.5.5工作距离：30mm；

3.5.6工作模式：角积分, 空间分辨, 快扫模式；

3.5.7快扫模式速率<10 ms/spectrum；

3.5.8分辨率：0.85 eV @ 8Mcps and 1.00 eV @ 30 Mcps；

3.5.9 最高采集电子动能：2000eV；

3.6双阳极X射线源

3.6.1配备Mg/Al双阳极靶；

3.6.2最高功率400W，高压15 kV；

3.6.3配备控制单元及循环水冷箱；

3.7 四轴样品接触低温样品架

3.7.1 x/y移动范围：12.5mm，z方向移动范围：100mm，极化角：±180°；

3.7.2配备液氮冷却及电子束加热、热偶接触测温等功能，温度范围：100k～1050k；K型热偶。

3.8 配备样品存储台，最多可存储9块旗型样品。

4配置震动隔绝装置（屏蔽SPM和XPS之间的震动传递）；法兰尺寸：DN63CF或者更大；

5超高真空互联腔体，以实现样品在扫描隧道显微镜腔体和X射线光电子能谱腔体之间的互联。

5.1 采用6通设计，接口为DN63CF或DN40CF，预留对接快速进样室空间。

5.2 配备磁耦合传递杆，单次可实现不少于3个样品的传递。

6 质保期不少于1年。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，否则视为偏离。

（1）所投标产品多项不满足招标文件要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

（2）所投标产品不满足招标文件技术要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所投产品的市场反馈情况（9分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；

2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．投标人综合实力（2分）

根据投标人综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据投标文件的相关承诺，在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（3分）。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

（一）投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明：

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”，正本一份，副本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

九、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2023年8月28日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。

十一、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1. 寄达时间：2023年9月1日9:30前；

2. 收件人信息：

收件人：丁老师

联系方式：138*****427

收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2023年9月1日9:00～9:30

2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十二、投标截止时间：2023年9月1日9:30。

十三、开标时间：2023年9月1日9:30。

招标附件.rar