公告日期：2015年11月21日

招标编号: 2015[395]

招标机构: 南京大学国有资产管理处

地址：南京市鼓楼区汉口路22号南京大学（国有资产管理处2楼办公室）

邮编：210093

电话：***-********

联系人：王咏妙王旭 张洁 刘晓雪 吕春梅

南京大学国有资产管理处具体承办南京大学“紫外光刻机”项目的招标采购事宜，欢迎有意向的合格投标人报名投标。

邮件报名截止时间：2015年11月28日上午10:00。

一、报名方式：

合格投标人将营业执照（加盖公章）扫描件和投标申请表（见下表，Word 文档）以附件形式发至：bidnju@126.com。报名邮件主题统一为：2015[395]紫外光刻机。因报名邮件主题不符合要求导致报名信息未能被统计，本招标机构概不负责。
投标申请表

项目名称：

投标编号：

投标单位：

联系 人：

联系方式：

电子邮箱：

申请时间：

二、招标要求：

（一）工作条件

（1）电源： 220V，两相，50 HZ

（2）环境温度：可在20℃～25℃稳定工作

（3）环境湿度：可在40%~60%下稳定工作

（4）设备能保证长时间的运行稳定性与可靠性。

（二）设备要求

1.光刻机系统组件必须包括以下部分：

（1）主机

（2）对准平台

（3）正面/背面对准系统

（4）显微镜视频输出系统

（5）分离视场显微镜

（6）5倍，10倍物镜

2. 曝光单元必须包括以下部分

（1）1000W汞灯电源

（2）1000W汞灯不少于3个

（3）MO UV400光路系统

（4）I线滤镜

3. 衬底卡盘（包括碎片）及掩膜版架必须包括以下部分：

（1）2"衬底卡盘，真空接触，背面对准

（2）4"衬底卡盘，真空接触，背面对准

（3）6"衬底卡盘，真空接触，背面对准

（4）5x5mm～20x20mm碎片衬底卡盘

（5）掩模版架，2“开孔，支持2.5"~7"掩模版，接近式找平

（6）掩模版架，4“开孔，支持5"~7"掩模版，接近式找平

（7）掩模版架，6"开孔，支持7" 掩模版，接近式找平

★4.光强计和光强计探头

★5.无油真空泵（双膜）一套

（三）技术要求 (标★项需要提供证明文件)

光刻机

★1. 紫外光波长：350nm～450nm

★2. 汞灯功率：1000W

★3. 光强@ 365nm：35mw/cm2，

★4. 光强@405nm：70mw/cm2

★5. 光强均匀性：±2.0% @ Φ6”,并说明 6”范围内取五点，均匀性 = ±(最大值-最小值)/（最大值+最小值）

6. 需要支持微透镜阵列光学系统，并支持多种照明方式（大间隙，小间隙，圆孔型，扇形等的自由切换）

7. 曝光模式：真空接触，软接触，硬接触，接近式

8. 接近式曝光间距设定范围：1-999um

9. 接近式曝光间距设定精度：1um Step

10. 显微镜观察方式： 目镜 + 显示屏

11. 分辨率: 0.8um

★12. 对准方式：正面对准，背面对准

★13.正面套准精度：+/-0.5um

★14.背面套准精度：+/-1.0um

15. 对准平台移动范围：X,Y: ±5mm θ: ±5°

16. 对准平台移动精度：X,Y:0.1um θ: ±4e-5°

17. 支持衬底大小：Φ2”, Φ4”, Φ6”, 5mm*5mm ~20mm*20mm的碎片

18. 支持掩模版： 2.5", 3”， 4”， 5”，7”

19. 光强计：支持365nm/405nm

20. 无油真空泵：包含

21. 防震台：包含

21. 需要可以升级为软膜纳米压印主机。

22. 需要可以升级为键合对准主机。

23. 需要可以升级为图像化等离子体激活设备主机。

（四）服务要求

★1. 需要在中国大陆地区有完善的售后服务团队和完税备件仓库。

★2. 相同类型的设备，在国内安装数量不得少于50台，需提供详细项目信息。

3. 安装、调试：卖方专家负责现场免费安装及调试（包括与其它设备或仪器的接口调试）。按照生产厂提供的技术指标及标书要求验收设备。

4．操作人员培训：设备验收前卖方免费在安装现场完成基本操作培训、工艺培训、简单故障排除培训、常规周期性维护培训。对于所有培训，必须派出具有相应专业资格和实际工作经验的辅导人员进行培训，培训所使用的语言必须是中文，否则必须提供相应的翻译。所有培训费用由卖方承担。

5．设备验收：设备正常运行，并提供使用前的技术及操作；培训后，提交直接用户签字，确认合格的设备调试报告并确认后组织有关专家按合同文件进行验收。

6. 厂商或代理商所投产品必须是原厂生产的合格正品。所投软件必须是合法、正版的原厂家软件且是当时最新版本；提供终身免费的维护和及时的免费升级服务。

7. 设备保修期不少于一年，质量保证期自验收合格之日算起（含当日）；在质量保证期内，如果产品发生故障，卖方负责调查故障原因并免费修复直至满足产品性能的要求，或者免费更换整机或部分有缺陷的组件和材料。如产品经过维修更换部件，则该部件以维修后正常工作之日起（以维修记录日期为准）重新计算。质量保证期内出现故障导致仪器停用的时间，应从质量保证期中扣除。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长为待机时间的3倍。

★8. 在质保期内卖方需免费提供相应技术支持以及必要的备件对用户的测试设备进行售后服务，确保该设备能够在用户实验室正常运行；免费为用户提供系统维护的服务人员以及备件。

9 如设备遇质量问题或发生故障，电话服务响应时间不超过8小时；24小时内给予答复，72小时内到现场进行维修服务。一般问题应在2天内、重大问题应在1周内解决或提出明确解决方案。质量保证期内发生的一切费用由卖方承担。

三、其他事项：

1、参与投标的公司必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

2、法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司，都不得同时投标，否则取消其投标资格；

3、此采购事宜的解释权属于南京大学国有资产管理处。

南京大学国有资产管理处

二〇一五年十一月二十一日